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微米膜厚測量儀 C11011-01W
- 品牌:日本濱松
- 型號: C11011-01W
- 產地:亞洲 日本
- 供應商報價:面議
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濱松光子學商貿(中國)有限公司
更新時間:2025-02-24 10:56:46
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產品膜厚測量系統(tǒng)(12件)
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產品特點
C11011-01W型光學微米膜厚測量儀利用激光相干度量學原理,測量速度達60Hz,適用于產品線上在線測量。此外,與Mapping工作臺聯用可以測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛,比如用于產品制造過程監(jiān)控或質量控制。
C11011-01W測量玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到 2900 μm 和10 μm 到1200 μm。
詳細介紹
- 詳細參數
型號 C11011-01W 可測膜厚范圍(玻璃) 25 μm to 2900 μm*1 光源 Infrared LD (1300 nm) 光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4 工作距離 155 mm*4 可測層數 1-layer 分析 Peak detection 測量時間 22.2 ms/point*5 外部控制功能 RS-232C, PIPE 電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 50 VA 接口 USB 2.0 (Main unit - Computer) 可測膜厚范圍(硅) 10 μm to 1200 μm*2 測量可重復性(硅) 100 nm*3 測量準確度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3
*1:與玻璃折射率相同
*2:與硅折射率相同
*3:測量硅時的標準偏差
*4:可選配1000mm工作距離的模型C11011-01WL
*5:最短曝光時間產品特性● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量
● 測量膜厚范圍(玻璃):25μm-2900μm
● 測量速度高達60 Hz
● 可測量層數:1層
● 測量帶圖紋晶圓或者帶保護膜的晶圓
● 工作距離長
● 作圖功能
● 可外部控制
外形尺寸(單位:mm) 技術資料