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    微米膜厚測量儀 C11011-01W

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    產品特點


    C11011-01W型光學微米膜厚測量儀利用激光相干度量學原理,測量速度達60Hz,適用于產品線上在線測量。此外,與Mapping工作臺聯用可以測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛,比如用于產品制造過程監(jiān)控或質量控制。


    C11011-01W測量玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到 2900 μm 和10 μm 到1200 μm。


    詳細介紹

    詳細參數
    型號 C11011-01W
    可測膜厚范圍(玻璃) 25 μm to 2900 μm*1
    光源 Infrared LD (1300 nm)
    光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4
    工作距離 155 mm*4
    可測層數 1-layer
    分析 Peak detection
    測量時間 22.2 ms/point*5
    外部控制功能 RS-232C, PIPE
    電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
    功耗 Approx. 50 VA
    接口 USB 2.0 (Main unit - Computer)
    可測膜厚范圍(硅) 10 μm to 1200 μm*2
    測量可重復性(硅) 100 nm*3
    測量準確度(硅) < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3

    *1:與玻璃折射率相同

    *2:與硅折射率相同

    *3:測量硅時的標準偏差

    *4:可選配1000mm工作距離的模型C11011-01WL

    *5:最短曝光時間

    產品特性

    ● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量


    ● 測量膜厚范圍(玻璃):25μm-2900μm


    ● 測量速度高達60 Hz


    ● 可測量層數:1層


    ● 測量帶圖紋晶圓或者帶保護膜的晶圓


    ● 工作距離長


    ● 作圖功能


    ● 可外部控制

    外形尺寸(單位:mm)


    技術資料

    廠商推薦產品

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