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微米膜厚測量儀 C11011-21
- 品牌：日本濱松
- 型號： C11011-21
- 產(chǎn)地：亞洲 日本
- 供應商報價：面議
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濱松光子學商貿(mào)（中國）有限公司
更新時間：2025-02-24 10:56:46 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品膜厚測量系統(tǒng)(12件)
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產(chǎn)品特點
C11011-21型光學微米膜厚測量儀利用激光干涉法原理，測量速度達60Hz，適用于產(chǎn)品在線測量。此外，選配的作圖系統(tǒng)可以用于測量指定樣品的厚度分布。C11011-01W應用廣泛，比如用于產(chǎn)品制造過程監(jiān)控或質(zhì)量控制。
C11011-21可測玻璃膜厚范圍分別為25 μm 到2200 μm 和10 μm 到 900 μm，可測層數(shù)zui多為10層。
詳細介紹
- 詳細參數(shù)
型號 C11011-21 可測膜厚范圍（玻璃） 25 μm to 2200 μm*1 光源 Infrared LD （1300 nm) 光斑尺寸 Approx. φ60 μm*4 工作距離 155 mm*4 可測層數(shù) Max. 10 layers 分析 Peak detection 測量時間 16.7 ms/point*5 外部控制功能 RS-232C, Ethernet 電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 Approx. 50 VA 接口 USB 2.0 (Main unit - Computer) 可測膜厚范圍（硅） 10 μm to 900 μm*2 測量可重復性（硅） 100 nm*3 測量準確度（硅） < 500 μm: ±0.5 μm, > 500 μm: ±0.1 %*3
* 1：玻璃折射率相同。
* 2：硅折射率相同。
* 3：測量硅時為標準偏差。
* 4：可選1000毫米工作距離的型號。 （型號C11011-01WL）
* 5：最短曝光時間。產(chǎn)品特性● 利用紅外光度測定進行非透明樣品測量
● 測量膜厚度范圍（玻璃）：25μm-2200μm
● 測量速度高達60 Hz
● 可測量層數(shù)：10層
● 測量帶圖紋晶圓或帶保護膜的晶圓
● 工作距離長?
● Mapping功能
● 可外部控制
外形尺寸（單位：mm）
技術資料
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號