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    光學(xué)NanoGauge C10178-02

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    產(chǎn)品特點(diǎn)


    C10178型光學(xué)納米膜厚測(cè)量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測(cè)量薄膜厚度的非接觸式測(cè)量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測(cè)量出薄膜厚度。濱松的產(chǎn)品使用多通道光譜儀PMA作為檢測(cè)器,測(cè)量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時(shí)還可以測(cè)量量子產(chǎn)率,反射率,透射/吸收率等參數(shù)。


    C10178-02支持UV(200 nm至950 nm)。


    詳細(xì)介紹

    詳細(xì)參數(shù)
    型號(hào) C10178-02
    可測(cè)膜厚范圍(玻璃) 20 nm to 30 μm*1
    測(cè)量可重復(fù)性(玻璃) 0.02 nm*2 *3
    測(cè)量準(zhǔn)確性(玻璃) ±0.4 %*3 *4
    光源 D2-Halogen light source
    光斑尺寸 ?Approx. φ1 mm*3
    工作距離 10 mm*3
    可測(cè)層數(shù) Max. 10 layers
    分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
    測(cè)量時(shí)間 19 ms/point*5
    光纖連接頭 φ12 sleeve shape
    外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
    電源 AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
    功耗 Approx. 210 VA
    測(cè)量波長(zhǎng)范圍 200 nm to 950 nm
    接口 USB 2.0
    測(cè)量模式(特征) supports UV

    *1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5

    *2 測(cè)量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)

    *3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

    *4 測(cè)量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件一致

    *5 最短曝光時(shí)間

    產(chǎn)品特性

    ● 高速、高準(zhǔn)確性(可測(cè)膜厚范圍(玻璃):20 nm-30μm)


    ● 實(shí)時(shí)測(cè)量


    ●? 非恒定膜層的精確測(cè)量


    ● 分析光學(xué)常量(n, k)


    ● 可外部控制


    ● 可以使用特定附件測(cè)量量子產(chǎn)率,反射率,透射率和吸收率

    外形尺寸(單位:mm)


    技術(shù)資料

    廠商推薦產(chǎn)品

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