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光學(xué)NanoGauge C13027-12

品牌：日本濱松
型號： C13027-12
產(chǎn)地：亞洲日本
供應(yīng)商報價：面議

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國）有限公司更新時間：2025-02-24 10:56:46

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品膜厚測量系統(tǒng)(12件)

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產(chǎn)品特點

C13027型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。C13207不僅支持PLC連接，而且其設(shè)計尺寸比其他型號更緊湊，便于設(shè)備安裝。Optical Gauge系列不僅能夠測量10納米以下極薄薄膜的厚度，而且還具有超寬測量范圍，可以覆蓋從10納米到100微米的各種薄膜厚度。 Optical Gauge系列可以進行高達200 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測量。

詳細介紹

詳細參數(shù)

型號	C13027-12
可測膜厚范圍（玻璃）	10 nm to 100 μm*1
測量可重復(fù)性（玻璃）	0.02 nm2 3
測量準(zhǔn)確性（玻璃）	±0.4 %3 4
光源	Halogen light source
光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
工作距離	10 mm*3
可測層數(shù)	Max. 10 layers
分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis, Color analysis
測量時間	3 ms/point*5
光纖連接頭	FC
外部控制功能	RS-232C, Ethernet
電源	AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	Approx. 80 VA
測量波長范圍	400 nm to 1100 nm

● 輸出信號
模擬輸出：0 V至10 V /高阻抗3通道（多達三層結(jié)構(gòu)）
報警輸出：TTL /高阻抗1通道
警告輸出：TTL /高阻抗1通道
● 輸入信號
測量啟動信號：TTL /高阻抗1通道

*1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5
*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差）
*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)
*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件一致
*5 最短曝光時間

產(chǎn)品特性

● 支持PLC連接

● 縮短循環(huán)時間（最大200 Hz）

● 可測量10nm極薄薄膜厚度

● 同時測量薄膜厚度與顏色

● 安裝所占空間大幅縮?。ㄅcC12562相比，安裝所占空間減少30%）

● 波長覆蓋范圍寬（400 nm - 1100 nm）

● 軟件中新增簡化測量法

● 可進行表面分析

● 非恒定膜層的精確測量

● 分析光學(xué)常數(shù)（n, k）

● 作圖功能