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光學(xué)NanoGauge C12562-04

品牌：日本濱松
型號(hào)： C12562-04
產(chǎn)地：亞洲日本
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

濱松光子學(xué)商貿(mào)（中國）有限公司更新時(shí)間：2025-02-24 10:56:46

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品膜厚測量系統(tǒng)(12件)

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產(chǎn)品特點(diǎn)

C12562型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是一款小型緊湊、節(jié)省空間、安裝方便的非接觸式薄膜厚測量系統(tǒng)。在半導(dǎo)體工業(yè)中，硅通孔技術(shù)的普及使得硅厚度測量變得必不可少；在薄膜生產(chǎn)工業(yè)中，越來越高的產(chǎn)品需求使得粘合層薄膜的制作朝著越來越薄的方向發(fā)展。因此，這些工業(yè)領(lǐng)域需要更高精度、測量范圍可以覆蓋1μm到300μm的厚度測量系統(tǒng)。C12562可以對(duì)厚度范圍從0.5μm到300μm的薄膜進(jìn)行精確測量，包括薄膜鍍層厚度和薄膜襯底厚度以及總厚度。C12562可以進(jìn)行高達(dá)100 Hz的快速測量，因此非常適合高速生產(chǎn)線測量。

詳細(xì)介紹

詳細(xì)參數(shù)

型號(hào)	C12562-04
可測膜厚范圍（玻璃）	500 nm to 300 μm*1
測量可重復(fù)性（玻璃）	0.02 nm2 3
測量準(zhǔn)確性（玻璃）	±0.4 %3 4
光源	Halogen light source
光斑尺寸	Approx. φ1 mm*3
工作距離	10 mm*3
可測層數(shù)	Max. 10 layers
分析	FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
測量時(shí)間	3 ms/point*5
光纖連接頭	FC
外部控制功能	RS-232C, Ethernet
電源	AC100 V to AC240 V, 50 Hz/60 Hz
功耗	Approx. 80 VA

*1 轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5

*2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差（公差）

*3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

*4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件一致

*5 最短曝光時(shí)間

產(chǎn)品特性

● 測量范圍從薄膜厚度到總厚度

● 縮短循環(huán)時(shí)間（最大100 Hz）

● 外部觸發(fā)器增強(qiáng)（適用于高速測量）

● 系統(tǒng)中新增簡化測量法

● 可進(jìn)行表面分析

● 非恒定膜層的精確測量

● 分析光學(xué)常數(shù)（n, k）

● 可外部控制

外形尺寸（單位：mm）