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    產(chǎn)品中心

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    光學(xué)NanoGauge C10323-02

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    產(chǎn)品特點(diǎn)


    C10323型光學(xué)納米膜厚測(cè)量系統(tǒng)是一款微觀厚度測(cè)量系統(tǒng)。 在宏觀層面上無法測(cè)量具有不規(guī)則表面的物體,因?yàn)檫@些物體會(huì)產(chǎn)生高強(qiáng)度的散射光。 對(duì)于這些類型的物體,測(cè)量小面積可減少散射光,從而實(shí)現(xiàn)測(cè)量。



    C10323-02的電源電壓為AC100 V至AC120 V。


    詳細(xì)介紹

    詳細(xì)參數(shù)
    型號(hào) C10323-02
    可測(cè)膜厚范圍(玻璃) 20 nm to 50 μm①
    測(cè)量可重復(fù)性(玻璃) 0.02 nm②
    測(cè)量準(zhǔn)確性(玻璃) ±0.4 %③
    光源 Halogen light source
    光斑尺寸 φ8 μm to φ80 μm④
    工作距離 Refer to objective lens list
    可測(cè)層數(shù) Max. 10 layers
    分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
    外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
    電源 AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
    功耗 Approx. 250 VA
    測(cè)量波長(zhǎng)范圍 400 nm to 1100 nm
    接口 USB 2.0

    *1:轉(zhuǎn)換時(shí)玻璃的折射率是1.5

    *2:測(cè)量400 nm玻璃薄膜厚度時(shí)為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)

    *3:取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

    *4:測(cè)量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量保證文件一致

    產(chǎn)品特性

    ● 可在微觀層面進(jìn)行測(cè)量


    ● 高速、高準(zhǔn)確度


    ● 分析光學(xué)常量(n, k)


    ● 可外部控制

    外形尺寸(單位:mm)


    廠商推薦產(chǎn)品

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