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    產(chǎn)品中心

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    光學(xué)NanoGauge C10178-03J

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    產(chǎn)品特點


    C10178型光學(xué)納米膜厚測量系統(tǒng)是一款利用光譜干涉法測量薄膜厚度的非接觸式測量系統(tǒng)。光譜干涉法可以快速、高精度以及高靈敏度地測量出薄膜厚度。C13027使用多通道光譜儀PMA作為檢測器,測量各種光學(xué)濾光片和涂膜厚度的同時還可以測量量子產(chǎn)率,反射率,透射/吸收率等參數(shù)。



    C10178-03J支持NIR(900 nm至1650 nm)。


    詳細(xì)介紹

    詳細(xì)參數(shù)
    型號 C10178-03J
    可測膜厚范圍(玻璃) 150 nm to 50 μm*1
    測量可重復(fù)性(玻璃) 0.05 nm*2 *3
    測量準(zhǔn)確性(玻璃) ±0.4 %*3 *4
    光源 Halogen light source
    光斑尺寸 Approx. φ1 mm*3
    工作距離 10 mm*3
    可測層數(shù) Max. 10 layers
    分析 FFT analysis, Fitting analysis, Optical constant analysis
    測量時間 19 ms/point*5
    光纖連接頭 φ12 sleeve shape
    外部控制功能 RS-232C, PIPE, Ethernet
    電源 AC100 V to AC120 V , 50 Hz/60 Hz
    功耗 Approx. 230 VA
    測量波長范圍 900 nm to 1650 nm
    測量模式(特征) supports NIR

    *1 轉(zhuǎn)換時玻璃的折射率是1.5

    *2 測量400 nm玻璃薄膜厚度時為標(biāo)準(zhǔn)偏差(公差)

    *3 取決于光學(xué)系統(tǒng)或物鏡放大倍數(shù)

    *4 測量保證范圍同VLSI標(biāo)準(zhǔn)測量保證文件一致

    *5 最短曝光時間

    產(chǎn)品特性

    ● 高速、高準(zhǔn)確性(可測膜厚范圍(玻璃):150 nm-50μm)


    ● 實時測量


    ● 非恒定膜層的精確測量


    ● 分析光學(xué)常量(n, k)


    ● 可外部控制


    ● 可以使用特定附件測量量子產(chǎn)率,反射率,透射率和吸收率

    外形尺寸(單位:mm)

    技術(shù)資料

    廠商推薦產(chǎn)品

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