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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-300B
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
PICOSUN 高級原子沉積機(jī) P-300B Advanced ALD，基片尺寸和類型 300mm晶圓10片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）,200mm晶圓25+2片/批次（標(biāo)準(zhǔn)間距）
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號： P-300S
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
PICOSUN 原子層沉積機(jī) P-300S Pro ALD ，Z 大300mm晶圓/單片，25片晶圓盒對盒式全自動裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM? 30...
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：PICOSUN P-300F ,P-300BV
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
PICOSUN 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) P-300F Pro ALD PICOSUN 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) P-300BV Pro ALD 。襯底尺寸和類型 200 mm 晶圓 25 + 2片/批次 ...
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-200S
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
PICOSUN 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) P-200S Pro ALD ，由兩臺PICOSUN P-200S ALD設(shè)備組成，帶等離子體源PICOPLASMA。
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-1000 Pro
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-300 Advanced
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-300B Advanced
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
液態(tài)，固態(tài)，氣態(tài)，臭氧源； 前驅(qū)源余量傳感器，并提供清洗和裝源服務(wù)； ?4根獨立源管線，zui多加載6個前驅(qū)體源。
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：R-200標(biāo)準(zhǔn)型
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
PICOSUN? R系列設(shè)備提供高質(zhì)量ALD薄膜的沉積技術(shù)，并在各種各樣的襯底上都表現(xiàn)極 佳的均勻性，包括zui具挑戰(zhàn)性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號： Picosun R-200
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
。氣動升降（手動裝載） 。預(yù)真空室安裝磁力操作機(jī)械手（Load lock ） 。半自動裝載，用PICOPLATFORM?200集群系統(tǒng)實現(xiàn)
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-200S Pro
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-300F,P-300BV
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
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- 品牌：芬蘭Picosun
- 型號：P-300S
- 產(chǎn)地：歐洲 芬蘭
半自動裝載，用單片Load lock與磁力操縱桿實現(xiàn)； 25片晶圓盒對盒式全自動裝載（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM? 300集群系統(tǒng)實現(xiàn)。
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