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    深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
    主營(yíng)產(chǎn)品:光刻機(jī)/3D打印機(jī),鍍膜沉積機(jī),離子刻蝕與沉積系統(tǒng),半導(dǎo)能檢測(cè)儀器,UV清洗設(shè)備
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    深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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    芬蘭 Picosun 原子層沉積機(jī)

     
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    PICOSUN  高級(jí)原子沉積機(jī) P-300B Advanced ALD
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-300B
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • PICOSUN 高級(jí)原子沉積機(jī) P-300B Advanced ALD,基片尺寸和類(lèi)型 300mm晶圓10片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距),200mm晶圓25+2片/批次(標(biāo)準(zhǔn)間距)

    PICOSUN 原子層沉積機(jī)  P-300S Pro ALD
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào): P-300S
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • PICOSUN 原子層沉積機(jī) P-300S Pro ALD ,Z 大300mm晶圓/單片,25片晶圓盒對(duì)盒式全自動(dòng)裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM? 30...

    PICOSUN 原子沉積機(jī) P-300F ,P-300BV
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):PICOSUN P-300F ,P-300BV
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • PICOSUN 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) P-300F Pro ALD PICOSUN 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) P-300BV Pro ALD 。襯底尺寸和類(lèi)型 200 mm 晶圓 25 + 2片/批次 ...

    PICOSUN  生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) P-200S Pro ALD
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-200S
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • PICOSUN 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī) P-200S Pro ALD ,由兩臺(tái)PICOSUN P-200S ALD設(shè)備組成,帶等離子體源PICOPLASMA。

    PICOSUN P-1000 Pro ALD 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī)
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-1000 Pro
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    P-300 Advanced ALD 高 級(jí)型原子層沉積機(jī)
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-300 Advanced
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    P-300B Advanced ALD 高 級(jí)原子沉積機(jī)
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-300B Advanced
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • 液態(tài),固態(tài),氣態(tài),臭氧源; 前驅(qū)源余量傳感器,并提供清洗和裝源服務(wù); ?4根獨(dú)立源管線,zui多加載6個(gè)前驅(qū)體源。

    芬蘭 PICOSUN R-200標(biāo)準(zhǔn)型ALD
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):R-200標(biāo)準(zhǔn)型
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • PICOSUN? R系列設(shè)備提供高質(zhì)量ALD薄膜的沉積技術(shù),并在各種各樣的襯底上都表現(xiàn)極 佳的均勻性,包括zui具挑戰(zhàn)性的通孔的、超高深寬比和顆粒等樣品。

    芬蘭 Picosun R-200 高級(jí)型原子層沉積機(jī)
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào): Picosun R-200
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • 。氣動(dòng)升降(手動(dòng)裝載) 。預(yù)真空室安裝磁力操作機(jī)械手(Load lock ) 。半自動(dòng)裝載,用PICOPLATFORM?200集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)

    P-200S Pro ALD 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī)
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-200S Pro
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    P-300F,P-300BV 生產(chǎn)型原子層沉積機(jī)
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-300F,P-300BV
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    P-300S 生產(chǎn)線型原子層沉積機(jī)
    • 品牌:芬蘭Picosun
    • 型號(hào):P-300S
    • 產(chǎn)地:歐洲 芬蘭
    • 半自動(dòng)裝載,用單片Load lock與磁力操縱桿實(shí)現(xiàn); 25片晶圓盒對(duì)盒式全自動(dòng)裝載(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM? 300集群系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)。

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