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    Nanoscribe無掩膜光刻機Quantum X shape

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    產(chǎn)品特點

    Quantum X shape雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)是一款真正意義上的全能機型。基于雙光子聚合技術(shù),該系統(tǒng)不僅是快速成型制作的Z佳機型,同時適用于基于晶圓上的任何亞微米精度的2.5D及3D形狀的規(guī)模化生產(chǎn)。全新Quantum X shape可以為您打印任何 2.5D 和 3D 微納結(jié)構(gòu),提供真正意義上的設(shè)計自由度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)您各類高縱橫比結(jié)構(gòu)。

    詳細(xì)介紹

    作為同類中超前的3D打印系統(tǒng)Quantum X shape 可打印任何形狀,min尺寸可達(dá)100nm同時表面粗造度(Ra)小于5nm,max面積可達(dá)25 cm

    具備自動滴膠模組功能的先進打印系統(tǒng),過夜效率可達(dá)200個特征結(jié)構(gòu)。

    通用高性能雙光子聚合材料,適用高分子及玻璃打印。


    Reshaping precision.

    作為已被工業(yè)界認(rèn)可的Nanoscribe公司推出的Quantum X平臺的二代加工系統(tǒng),Quantum X shape雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)在3D微納加工領(lǐng)域擁有驚人的高精度,比肩于Nanoscribe公司在表面結(jié)構(gòu)應(yīng)用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL ?)。全新的Quantum X shape的高精度有賴于其高能力的體素調(diào)制比和超精細(xì)處理網(wǎng)格,從而實現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外,受益于雙光子灰度光刻對體素的微調(diào),該系統(tǒng)在表面微結(jié)構(gòu)的制作上可達(dá)到超光滑,同時保持高精度的形狀控制。

    Reshaping output.

    Quantum X shape雙光子無掩膜光刻系統(tǒng)不僅是應(yīng)用于生物醫(yī)學(xué)、微光學(xué)、MEMS、微流道、表面工程學(xué)及其他很多領(lǐng)域中器件的快速原型制作的理想工具,同時也成為基于晶圓的小結(jié)構(gòu)單元的批量生產(chǎn)的簡易工具。

    Reshaping usability.

    通過系統(tǒng)集成觸控屏控制打印文件來大大提高實用性。通過系統(tǒng)自帶的nanoConnectX軟件來進行打印文件的遠(yuǎn)程監(jiān)控及多用戶的使用配置,實現(xiàn)推動工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)化及基于晶圓批量效率生產(chǎn)。

     

     

    主要特征:

    * 納米尺度打?。涸谌我饪臻g方向上的特征尺度控制,可達(dá)100nm

    * 超快體素控制和100nm處理網(wǎng)格的高速3D微納加工

    * 先進的振鏡軌道控制保證的最快掃描速度下的軌跡準(zhǔn)確度

    * 自動化自校準(zhǔn)路徑保證的高精度激光能量控制及定位

    * 可達(dá)6英寸基片和硅片的廣泛選擇

    * 工業(yè)化批量生產(chǎn): 200個標(biāo)準(zhǔn)介觀尺度結(jié)構(gòu)通宵產(chǎn)量

    * 保證實用性和體驗感的觸控屏和遠(yuǎn)程控制功能

    * 快速原型制作,高精度,高設(shè)計自由度,簡易明了的工作流程

    * 工業(yè)驗證的晶圓級批量生產(chǎn)

    * 通用及專用的打印材料

    * 兼容自主及第三方打印材料




     

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