中科院DS-2000/14K 無(wú)掩膜單面光刻機(jī)

DS-2000/14K 無(wú)掩膜單面光刻機(jī)
 

1．技術(shù)特征
。采用 DMD 作為數(shù)字掩模，像素?cái)?shù) 1024×768
。采用 14 倍縮小投影光刻物鏡成像。
。采用ZG技術(shù)——積木錯(cuò)位蠅眼透鏡實(shí)現(xiàn)均明。
。具備對(duì)準(zhǔn)功能
。采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實(shí)現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，可適應(yīng) 100mm?100mm 基片。
。采用 CCD 檢焦系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)整場(chǎng)調(diào)平、自動(dòng)逐場(chǎng)調(diào)焦或自動(dòng)選場(chǎng)調(diào)焦曝光。
 

2．技術(shù)參數(shù)
。光源：350W 球形汞燈（曝光譜線(xiàn)： i 線(xiàn)）或紫外LED；
。照明不均勻性：2%；
。物鏡倍率：14 倍
。曝光場(chǎng)面積：1mm×0.75mm
。光刻分辨力：1 μm
。工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)范圍：X：100mm、 Y：100mm；
。工件臺(tái)運(yùn)動(dòng)定位精度：±0.65μm；
。調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)靈敏度：1μm；
。對(duì)準(zhǔn)精度：±2μm；
。調(diào)焦臺(tái)運(yùn)動(dòng)行程：6mm
。檢焦：CCD 檢測(cè)，檢測(cè)精度 2 微米
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)行程：±6°以上
?；叽?br style="padding: 0px; margin: 0px auto;"/>。外徑: 。1mm—100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（長(zhǎng)）x450mm(寬) x830mm（高）
 

4．配置
（1）照明系統(tǒng)
。350W 直流汞燈（或 LED）、橢球鏡、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組、場(chǎng)鏡組、365nm 濾光片、氣動(dòng)快門(mén)、DMD（美國(guó)德州儀器）、冷卻風(fēng)扇。
。投影物鏡：縮小倍率 14 倍
。分辨力 1μm 

（2）工件臺(tái)系統(tǒng)
。X 臺(tái)：電機(jī)驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵（美國(guó)）
。Y 臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵 2（美國(guó)）
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜），轉(zhuǎn)動(dòng)軸系
。Z 臺(tái)：電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器（日本樂(lè)孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu)
。承片臺(tái)：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）
 

（3）檢焦系統(tǒng)
。焦面光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、焦面檢測(cè)軟件
 

（4）對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)
。對(duì)準(zhǔn)光學(xué)檢測(cè)系統(tǒng)、CCD、對(duì)準(zhǔn)軟件
 

（5）電控系統(tǒng)
。汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計(jì)算機(jī)、監(jiān)視器（19 英寸液晶）、接口
 

（6）氣動(dòng)系統(tǒng)
。電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表
 

（7）其他附件
。真空泵一臺(tái)(無(wú)油泵)
。空壓機(jī)一臺(tái)（靜音泵）
。管道