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深圳市藍星宇電子科技有限公司
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- 品牌：牛津儀器
- 型號：Plasma Stripper
- 產(chǎn)地：歐洲 英國
開放式設計，可快速加載和卸載晶圓； 基片放置在石英上，以避免濺射/再沉積電極材料； 通過頂部電極上的“蓮蓬頭”進氣口將氣體注入工藝室。
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