CP-4化學(xué)機械拋光設(shè)備

CP-4化學(xué)機械拋光設(shè)備

CP-4是世界Z通用和zuixianjin的臺式化學(xué)機械拋光設(shè)備（CMP），可以很好的滿足您的研發(fā)需求。完全軟件控制，可以對直徑4英寸的晶圓和磁盤進行拋光。 CETR-CP-4可檢測原位摩擦力，摩擦系數(shù)，溫度，下壓力，磨損，聲發(fā)射等，可以模擬所有的參數(shù)，如速度，負載和流量，來模仿一個大的CMP系統(tǒng)。

用于化學(xué)機械拋光的研究和開發(fā)的各個方面
? 測試和開發(fā)各種不同的微粒，材料，濃度，氧化劑，YZ劑等的拋光液
? 測試和開發(fā)不同的材料，溝槽形狀，尺寸，彈性，壽命等
? 測試和發(fā)展拋光墊調(diào)節(jié)裝置來優(yōu)化拋光墊的損耗率，修整，效率等
? 開發(fā)CMP定位環(huán)材料來優(yōu)化摩擦，磨損，壽命等
? 測試去除率，重復(fù)性缺陷，工藝優(yōu)化等，研究或開發(fā)各種應(yīng)用的各種材料
? 半導(dǎo)體方面 - 銅，Ta, TaN, Al, Si, SiO, Ru, WC, solar cells, PVD, CVD, 薄膜等
? 化合物半導(dǎo)體 - 砷化鎵，銦，磷化物，汞，鎘
? 應(yīng)用生物材料 - 牙，骨，鈦，鋼鐵制品等。
? 光電材料 – LED，藍寶石，紅外窗口拋光激光材料，顯微鏡頭，微光學(xué)，鈮酸鋰，鉭酸鋰，磷酸氧鈦鉀等。

同時實時監(jiān)測及處理
? 通過在晶圓墊和調(diào)節(jié)墊界面處的擁有ZL的傳感器，測量負載和摩擦力，
? 通過在晶圓墊和調(diào)節(jié)墊界面處的擁有ZL的傳感器和放大器，測量接觸噪聲
? 使用聲波表征的缺陷、劃痕，并在加工過程中分層
? 監(jiān)測流入的拋光液，拋光片表面和流出廢液的溫度 .