冷場發(fā)射電子顯微鏡

JSM-6701F為場發(fā)射掃描電子顯微鏡(FESEM)，采用冷陰極場發(fā)射槍、超高真空和精密的數(shù)字技術(shù)，可進(jìn)行顯微結(jié)構(gòu)的高分辨率、高質(zhì)量成像。本系統(tǒng)裝配錐形場發(fā)射槍和semi-in-lens物鏡，可以在任何掃描速度下進(jìn)行高分辨率的成像以及高質(zhì)量的實(shí)時(shí)圖像顯示，使您即使在明亮的房間里也可觀察和記錄清晰的圖像。JSM-6701F可以處理直徑最大為8英寸的樣品。
JSM-6701F是高級智能計(jì)算機(jī)掃描電子顯微鏡，保證了與未來計(jì)算機(jī)技術(shù)的兼容性。它duyi無二的圖形用戶界面可以控制條件設(shè)置、樣品臺馬達(dá)驅(qū)動、成像和數(shù)據(jù)存檔，確保操作穩(wěn)定可靠。系統(tǒng)的主計(jì)算機(jī)采用了高級網(wǎng)絡(luò)技術(shù)的Window 2000，可在**條件下方便于從成像到數(shù)據(jù)處理的整個(gè)過程，使操作人員可以顯示實(shí)時(shí)圖像、通過網(wǎng)絡(luò)將數(shù)據(jù)保存到外接電腦、檢索和管理數(shù)據(jù)。
分辨率: 2.2 nm（1 kV），1 nm（15 kV）
放大倍數(shù): 100 到 650,000x
加速電壓: 0.5kv 到 30 kV
束流: 10-13A～2×10-9A
樣品室：200mm大型樣品室
光闌角控制鏡: 內(nèi)置
柔和光束: 內(nèi)置
數(shù)字圖像: 1,280 x 1024
樣品臺: XYZ三軸，5軸馬達(dá)驅(qū)動
X-Y: 70 mm x 50 mm（Ⅰ）、110mm x 80mm（Ⅱ）、z：3-41mm
傾斜: -5 到 +60°
旋轉(zhuǎn): 360°
工作距離: 1.5 mm 到 25 mm