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    二手 日立 S-4800冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡SEM

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    詳細(xì)介紹

    日立S-4800掃描電子顯微鏡采用大樣品室的半內(nèi)透鏡設(shè)計,卻能達(dá)到超高分辨率,可以與內(nèi)透鏡UHR掃描電鏡相媲美。


    特點:

    1. 新型物鏡采用的ExB設(shè)計。使用單檢測器和超級ExB可以分別收集和分離單純
       二次電子、混合二次電子及背散射電子的信號。
    2. 1KV低加速電壓時保證有2.0nm的分辨率。
    3. 兩種樣品臺可選:I型50mm x 50mm小樣品臺或Ⅱ型110mm x 110mm大樣品臺。
    4. 包括渦輪分子泵在內(nèi)的先進(jìn)的真空系統(tǒng)。
    5. 便于用戶使用的、基于圖形用戶界面的控制系統(tǒng),包含多種自動功能,操作簡易


    性能指標(biāo):

     二次電子分辨率 1.0nm (15kV)
     2.0nm (1 kV)
     1.4nm (1 kV,減速模式)
     電子槍 冷場發(fā)射電子源
     加速電壓 0.5~30kV(0.1KV/步,可變)
     放大倍率 x 20~ x 800,000
     物鏡光闌 4孔,真空外選擇和調(diào)校(內(nèi)置加熱器)
     檢測器 二次電子檢測器 (高位/低位)
     背散射電子檢測器(可選)
     EDX(可選)
     透射電子檢測器(可選)
     法拉第杯(可選)
     樣品臺 l型:  
     X: 0~50mm   Y: 0~50mm 
     Z:1.5~30mm  T: -5°~70°R:360°    驅(qū)動:手動(可選3軸/5軸馬達(dá)驅(qū)動)
     ll型:   
     X: 0 ~110 mm    Y: 0 ~110mm
     Z: 1.5 ~40 mm    T: -5°~ 70°
     R: 360°驅(qū)動: 5軸馬達(dá)驅(qū)動
     操作/顯示 操作系統(tǒng): WindowsTM  XP
     圖像儲存 640 x 480, 1,280 x 960,
     2,560 x 1,920,5,120 x 3,840
     圖像編輯
     圖像文件格式
     內(nèi)置圖像處理軟件和圖像編輯軟件
     BMP,  TIFF,  JPEG
     掃描速度 TV/慢速 (0.5 ~ 40 s/幀) 用于觀察
     慢速 (40 ~ 320 s/幀) 用于記錄
     自動數(shù)據(jù)記錄 膠卷號,加速電壓,微米標(biāo)尺,放大
     倍率,日期,時間,工作距離
     電子圖像移動 ±12μm ( W.D. = 8 mm)
     真空系統(tǒng) 自動調(diào)節(jié)
     離子泵 3 臺
     渦輪分子泵(磁浮型) 1 臺
     機械泵 1 臺


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