日本電子JSM-7610F熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡

分辨率: 1.3 nm（1 kV）（在GB 模式下），1.0 nm（15 kV）
放大倍數(shù): 25 到 1,000,000x
加速電壓: 0.1 到 30 kV
束流: 1 pA 到 200 nA（15 kV時）
光闌角控制鏡: 內(nèi)置
探測器: 上方和下方探測器
能量過濾器: 新型γ過濾器
柔和光束: 內(nèi)置
數(shù)字圖像: 1,280 x 960，2,560 x 1，920, 5,120 x 3,840
樣品交換室: 單步加載/卸載
樣品臺: 全對中，5軸馬達(dá)驅(qū)動
X-Y: 70 mm x 50 mm(IA) 110 mm x 80 mm(II) 140 mm x 80 mm(III)
傾斜: -5 到 +70°
旋轉(zhuǎn): 360°
工作距離: 1.5 mm 到 25 mm
真空系統(tǒng): 2 SIPs，磁懸浮軸承 TMP、RP
節(jié)能設(shè)計: 正常運(yùn)行：1.2 kVA 休眠模式：1 kVA
操作系統(tǒng)關(guān)閉（OFF）：0.76 kVA

l 超高分辨圖像的觀察，最大放大倍數(shù)1百萬倍

zuixin開發(fā)的強(qiáng)勵磁物鏡極靴設(shè)計，JSM-7610F的象差小，圖像分辨率高，特別是在低加速電壓下仍保持很高的分辨率，適合于材料表面的高分辨圖像觀察，分辨率指標(biāo)如下：

1.0nm (二次電子,加速電壓：15kV)

1.3nm (二次電子,加速電壓：1kV)突出的低壓分辨率

l 分子泵系統(tǒng)：真空系統(tǒng)潔凈，抽氣速度快，維護(hù)簡單。

l 五軸馬達(dá)樣品臺標(biāo)準(zhǔn)控制：使用極為方便。

l 大樣品室：利用JSM-7610F的標(biāo)準(zhǔn)配置，即可進(jìn)行直徑最大為150mm樣品的觀察；絕大部分操作通過鼠標(biāo)即可實現(xiàn)。

l 能量過濾器：可以按任意比例混合二次電子和背散射電子圖像。

l 圓錐型熱場發(fā)射電子槍：電子束虛漂移小，改變加述電壓無需手動調(diào)節(jié)虛漂移點。

l **光闌角控制透鏡： 無須手動切換光闌，束流大小完全由計算機(jī)自動控制。

l 離子泵的電源支持：停電后最長可以堅持14天，電池更換每年只需200元以內(nèi)。

l 良好的可操作性：控制界面設(shè)計非常友好，使用極為便利。

l 多通道顯示：最多可以選擇四種圖像同時顯示，高位二次電子像，低位二次電子像，背散射組成像和背散射拓?fù)湎瘛?/span>

l 穩(wěn)定的GB模式：標(biāo)準(zhǔn)配置。可以有效YZ充電和提高點電壓下的分辨率。

l 微區(qū)的成份分析幾何尺寸好：配合能譜儀（EDS）分析時，工作距離只有8mm， 取出角35度，計數(shù)率是其他廠家的一倍。

l 超長的發(fā)射體壽命: 由于采用In-Lens技術(shù)，我們的束流強(qiáng)度可以達(dá)到200nA，其他廠家只能做到20nA.我們在做成分分析時，或搭載EBSD或WDS時，分析速度和結(jié)果的精確度遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于他們。采用了In-Lens電子槍技術(shù)和wan美的氣鎖換樣系統(tǒng)，我們的發(fā)射體質(zhì)保3年，用戶一般使用在6年以上.