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Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x

品牌：美國(guó)Filmetrics
型號(hào)： F54-XYT-300
產(chǎn)地：美洲美國(guó)
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

優(yōu)尼康科技有限公司更新時(shí)間：2025-06-19 14:39:35

銷售范圍售全國(guó)

入駐年限第7年

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核

同類產(chǎn)品Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x(14件)

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Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x 核心參數(shù)

波長(zhǎng)范圍	190nm-1700nm	光源	鎢鹵素?zé)?、氘?/td>
測(cè)量nk厚度要求1*：	50nm	穩(wěn)定性3：	0.02nm

產(chǎn)品特點(diǎn)

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量，速度達(dá)到每秒兩點(diǎn)。

詳細(xì)介紹

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品介紹：

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x借助F54-XYT-300的光譜反射系統(tǒng)，可以快速輕松地測(cè)量200 x 200mm樣品的薄膜厚度。電動(dòng)XY工作臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)到選定的測(cè)量點(diǎn)并提供快速的厚度測(cè)量，速度達(dá)到每秒兩點(diǎn)。

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)：

自動(dòng)化薄膜厚度繪圖系統(tǒng)，快速定位、實(shí)時(shí)獲得結(jié)果；
可測(cè)樣品膜層：基本上光滑的。非金屬的薄膜都可以測(cè)量；
測(cè)繪結(jié)果可用2D或3D呈現(xiàn)，方便用戶從不同的角度檢視；

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x測(cè)量原理：

當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時(shí)將會(huì)有部分的光被反射，由于光的波動(dòng)性導(dǎo)致從多個(gè)界面的反射光彼此干涉，從而使反射光的多波長(zhǎng)光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率，可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度（越多的震蕩代表越大的厚度），同時(shí)也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例：

半導(dǎo)體膜層	顯示技術(shù)	消費(fèi)電子	派瑞林
光刻膠	OLED	防水涂層	電子產(chǎn)品/電路板
介電層	ITO和TCOs	射頻識(shí)別	磁性材料
砷化鎵	空氣盒厚	太陽(yáng)能電池	醫(yī)學(xué)器械
微機(jī)電系統(tǒng)	PVD和CVD	鋁制外殼陽(yáng)極膜	硅橡膠

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用：

半導(dǎo)體制造	LCD液晶顯示器	光學(xué)鍍層	MEMS微機(jī)電系統(tǒng)
光刻膠	聚酰亞胺	硬涂層	光刻膠
氧化物/氮化物/SOI	ITO透明導(dǎo)電膜	抗反射涂層	硅系膜層
晶圓背面研磨

Filmetrics F54-XYT-300 白光干涉膜厚測(cè)量?jī)x產(chǎn)品參數(shù)：

波長(zhǎng)范圍：	190nm-1700nm	光源：	鎢鹵素?zé)?、氘?/p>
測(cè)量nk厚度要求1*：	50nm	測(cè)量精度2：	0.02nm
準(zhǔn)確度*：取較大者	1nm或0.2%	穩(wěn)定性3：	0.05nm
樣品大?。?/p>	≤直徑300毫米	速度（含有真空平臺(tái)）：	5個(gè)點(diǎn)-8秒 25個(gè)點(diǎn)-21秒 56個(gè)點(diǎn)-43秒

光斑大小	標(biāo)準(zhǔn)500 微米孔徑	選配250 微米孔徑	選配100 微米孔徑
5X物鏡	100μm	50μm	20μm
10X物鏡	50μm	25μm	10μm
15X物鏡	33μm	17μm	7μm
50X物鏡	10μm	5μm	2μm