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    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀

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    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀 核心參數(shù)
    波長范圍 190nm-1690nm 光源 內(nèi)部顯微鏡光源
    測量nk厚度要求1*: 50nm

    產(chǎn)品特點

    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀的光譜測量系統(tǒng)讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測量結(jié)果。當(dāng)測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行,或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時,可以使用Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀。使用先校正顯微鏡的物鏡,再進(jìn)行測量,即可獲得厚度及光學(xué)參數(shù)值。

    詳細(xì)介紹

    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀




    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品介紹:

    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀光譜測量系統(tǒng)讓用戶簡單快速地測量薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù),通過對待測膜層的上下界面間反射光譜的分析,幾秒鐘內(nèi)就可測量結(jié)果。當(dāng)測量需要在待測樣品表面的某些微小限定區(qū)域進(jìn)行,或者其他應(yīng)用要求光斑小至1微米時,可以使用Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀。使用先校正顯微鏡的物鏡,再進(jìn)行測量,即可獲得厚度及光學(xué)參數(shù)值。只要透過Filmetrics的C-mount連接附件,F(xiàn)ilmetrics F40 薄膜厚度測量儀就可以和市面上多數(shù)的顯微鏡連接使用。C-mount上裝備有CCD攝像頭,可以讓用戶從電腦屏幕上清晰地看樣品和測量位置。



    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品特點優(yōu)勢:

    • 結(jié)合顯微鏡的膜厚測量系統(tǒng),光斑小至一微米的測量精度;

    • 匹配市面多數(shù)的顯微鏡連接使用;

    • 清晰且直觀地觀察樣品并確認(rèn)測量位置;



    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀測量原理:

    當(dāng)入射光穿透不同物質(zhì)的界面時將會有部分的光被反射,由于光的波動性導(dǎo)致從多個界面的反射光彼此干涉,從而使反射光的多波長光譜產(chǎn)生震蕩的現(xiàn)象。從光譜的震蕩頻率,可以判斷不同界面的距離進(jìn)而得到材料的厚度(越多的震蕩代表越大的厚度),同時也能得到其他的材料特性如折射率與粗糙度。



    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品應(yīng)用與膜層范例:

    • 薄膜特性:厚度、反射率、透射率、光學(xué)常數(shù)、均勻性、刻蝕量等

    • 薄膜種類:透明及半透明薄膜,常見如氧化物、聚合物甚至空氣

    • 薄膜狀態(tài):固態(tài)、液態(tài)和氣態(tài)薄膜都可以測量

    • 薄膜結(jié)構(gòu):單層膜、多層膜;平面、曲面



    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品常見工業(yè)應(yīng)用:

    半導(dǎo)體制造

    生物醫(yī)學(xué)元件

    MEMS微機電系統(tǒng)

    LCD液晶顯示器

    光刻膠

    聚合物

    光刻膠

    盒厚

    氧化物/氮化物

    聚對二甲苯

    硅膜

    聚酰亞胺

    生物膜/氣泡墻厚度

    氮化鋁

    ITO導(dǎo)電透明膜

    半導(dǎo)體膜層

    植入藥物涂層

    氧化鋅薄膜濾鏡




    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀產(chǎn)品參數(shù):

    波長范圍:

    190nm-1690nm

    光源:

    內(nèi)部顯微鏡光源

    測量nk值最小厚度

    50nm

    測量精度:

    0.02nm

    穩(wěn)定性:

    0.05nm

    準(zhǔn)確度*:取較大者

    50nm

    更多參數(shù)可聯(lián)系我們獲取



    Filmetrics F40 薄膜厚度測量儀測量圖:




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