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薄膜厚度測量系統(tǒng)
- 品牌：沈陽科晶
- 型號/貨號： TF200/TF200
- 產(chǎn)地：遼寧 沈陽
- 供應(yīng)商報價：面議
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沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司
更新時間：2025-04-29 08:02:47 -
銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品薄膜測厚儀(7件)
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詳細(xì)介紹
TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理，對薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面，探頭同位接收反射光線。TF200根據(jù)反射回來的干涉光，用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm，可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜，還可以測量n和k值。 產(chǎn)品型號
TF200-VIS
TF200-EXR
TF200-DUV
TF200-XNIR
主要特點(diǎn)
快速、準(zhǔn)確、無損、靈活、易用、性價比高
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體（SiO2/SiNx、光刻膠、MEMS，SOI等）
LCD/TFT/PDP(液晶盒厚、聚亞酰胺ITO等)
LED (SiO2、光刻膠ITO等）
觸摸屏(ITO AR Coating反射/穿透率測試等)
汽車(防霧層、Hard Coating DLC等）
醫(yī)學(xué)（聚對二甲苯涂層球囊/導(dǎo)尿管壁厚藥膜等）
波長范圍
380-1050nm
380-1700nm
190-1100nm
900-1700nm
厚度范圍
50nm-40um
50nm-300um
1nm-30um
10um-3mm
準(zhǔn)確度（取決于材料0.4%或2nm之間取較大者）
2nm
2nm
1nm
10nm
精度
0.2nm
0.2nm
0.2nm
3nm
入射角
90°
90°
90°
90°
樣品材料
透明或半透明
透明或半透明
透明或半透明
透明或半透明
測量模式
反射/透射
反射/透射
反射/透射
反射/透射
光斑尺寸（可選微光斑附件。）
2mm
2mm
2mm
2mm
是否能在線
是
是
是
是
掃描選擇
XY可選
XY可選
XY可選
XY可選
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號