制冷

ChilerZC209是一臺(tái)對(duì)循環(huán)液進(jìn)行溫度控制并輸出冷熱液的裝置。具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障自診斷、外部通信等豐富功能。采用先進(jìn)的制冷及溫度控制技術(shù)，溫度范圍:-20℃至+90℃℃

ThermoTST GC120氣體制冷機(jī)是一種閉環(huán)制冷系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于將干燥氣體(如氮?dú)?，氬氣或空?從環(huán)境溫度冷卻到低溫狀態(tài)。

Thermal Control system氣體溫控器,ThermoTST GC80氣體制冷機(jī)是一種閉環(huán)制冷系統(tǒng)，設(shè)計(jì)用于將干燥氣體(如氮?dú)?，氬氣或空?從環(huán)境溫度冷卻到低溫狀態(tài)。

Air chiller System氣體制冷機(jī)，是一個(gè)精確的氣體加熱/制冷溫度控制系統(tǒng)，可以迅速將溫度從-80℃升溫到+200℃，設(shè)計(jì)用于加熱/制冷氣體(氮?dú)猓瑲鍤獾?和清潔干燥空氣(CDA)的各種工

Air chiller System氣體制冷機(jī)，是一個(gè)精確的氣體加熱/制冷溫度控制系統(tǒng)，可以迅速將溫度從-80℃升溫到+200℃，設(shè)計(jì)用于加熱/制冷氣體(氮?dú)?，氬氣?和清潔干燥空氣(CDA)的各種工

冷卻系統(tǒng)，設(shè)計(jì)可長期運(yùn)行在低冷卻溫度，適用于小體積液體的捕獲、冷凍干燥和快速冷卻、LCD數(shù)顯面板，方便易用、體積緊湊、環(huán)保型冷媒、過壓、過熱、漏電等多重保護(hù)

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。

應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度控制，具有溫度穩(wěn)定性高、溫度范圍廣、故障診斷、外部通信等豐富功能的裝置。

由于半導(dǎo)體冷卻裝置Chiller在電子元器件行業(yè)的應(yīng)用廣，生產(chǎn)過程中的標(biāo)準(zhǔn)控制尤為關(guān)鍵，以確保設(shè)備運(yùn)行的準(zhǔn)確性和可靠性不受影響。

COOL系列超低溫制冷機(jī)使用環(huán)保、無毒、不易燃的制冷劑，是取代小型真空系統(tǒng)中移動(dòng)不便的杜瓦瓶和供應(yīng)不暢的液氮好選擇。多種冷頭可選，按需定制，溫度范圍-40℃至-95℃可選。