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    離子濺射儀JY-S100

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    詳細介紹

    JY-S100磁控離子濺射儀是一款結(jié)構(gòu)緊湊的桌面小型鍍膜系統(tǒng),特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜。
    在掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備中,JY-S100磁控離子濺射儀在不同類型的樣品,如生物標本和材料樣品制備中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。
    主要特性
    通過高效低壓直流磁控頭進行冷態(tài)精細的噴鍍過程,避免樣品表面受損。
    操作容易快捷,控制的參數(shù)包括放氣以及氬氣換氣控制。
    數(shù)字化的噴鍍電流控制不受樣品室內(nèi)氣壓影響,可得到一致的鍍膜速率和高質(zhì)量的鍍膜效果。
    可使用多種金屬靶材:Au, Au/Pd,,Pt,,Pt/Pd(Au靶為標配),靶材更換快速方便。

    技術(shù)參數(shù)

    濺射系統(tǒng)
    樣品倉尺寸120 x120mm
    靶材Au 靶為標配,可選 Pt,直徑 57mm x 0.1mm 厚
    標準樣品臺可以裝載 12 個 SEM 樣品座,高度可調(diào)范圍為 60mm
    ※旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺(選配)旋轉(zhuǎn)速度:0~60rpm 連續(xù)可調(diào),傾斜角度:-90°~ 90°連續(xù)可調(diào);
    不銹鋼腔體:直徑 120mm X 高 75mm;
    觀察窗:直徑 120mm X 高 45mm;
    標配旋轉(zhuǎn)臺直徑 40mm,可放 4 個標準樣品臺,其它規(guī)格可訂做;
    具有雙重鎖緊裝置,可確保樣品在旋轉(zhuǎn)傾斜時不會松動脫落。
    濺射電流微處理器控制,安全互鎖,可調(diào),電流 5~30mA,程序化數(shù)字控制
    計量表真空: Atm - 1*10-3mbar,電流:0~99mA
    控制方法帶有“開始”“暫?!卑粹o的微處理控制器(1-999s),自動抽氣、濺射、關(guān)機后自動放氣。
    真空系統(tǒng)
    抽氣速率133L/MIN
    極限真空10-4 mbar 級
    噪音56dB


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