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    小型離子濺射儀

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    詳細(xì)介紹

    儀器簡(jiǎn)介:
    本儀器主要適用于掃描電子顯微鏡樣品鍍覆導(dǎo)電膜(金膜),儀器操作簡(jiǎn)單方便,是配合中小型掃描電子顯微鏡制樣必備的儀器。
    技術(shù)指標(biāo):
    玻璃處理室:∮100毫米,高度130毫米
    試樣臺(tái)尺寸:∮40毫米可同時(shí)放6個(gè)樣品杯
    金靶尺寸:∮58毫米
    真空系統(tǒng):直聯(lián)旋片真空泵1升/秒
    真空檢測(cè):皮氏計(jì)
    真空保護(hù):20Pa配有微量充氣閥調(diào)節(jié)工作真空
    工作室工作媒介氣體:空氣或氬氣,配有氬氣專用進(jìn)氣口和微量充氣調(diào)節(jié)
    可以濺射鐵、鈷、鉺

    技術(shù)資料

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