離子濺射儀EMS150T

EMS150T 鍍膜儀

EMS150T鍍膜儀的機(jī)殼是整體成型的，結(jié)構(gòu)堅(jiān)固耐用，配有氣冷的70L/S的渦輪分子泵，自動(dòng)進(jìn)氣控制保證了濺射期間**的真空水平，真空腔室直徑為165mm并帶有防爆裝置。EMS150T具有“真空閉鎖”功能，可在設(shè)備不工作時(shí)維持腔室的真空度，從而保證高真空的性能。

    EMS150T鍍膜儀系列全自動(dòng)高真空離子濺射/熱蒸發(fā)一體化鍍膜儀給用戶以類似傻瓜相機(jī)的簡(jiǎn)單操作、ding級(jí)的鍍膜質(zhì)量和對(duì)熟手/新手都很理想的用戶界面，讓用戶真正領(lǐng)略至臻wan美的鍍膜品質(zhì)！

根據(jù)不同的應(yīng)用方向，EMS150T細(xì)分為三個(gè)型號(hào)：

l  EMS150TS：高分辨率濺射鍍膜儀High Resolution Turbomolecular Pumped Sputter Coater，可濺射易氧化和不易氧化金屬，可選各種濺射靶材，包括場(chǎng)發(fā)射電鏡常用的銥和鉻。

l  EMS150TE：高真空鍍碳儀，可制作高穩(wěn)定的碳膜和表面覆形膜，是TEM應(yīng)用最理想的選擇。

l  EMS150TES：集合了離子濺射和熱蒸鍍兩種真空沉積鍍膜方式，鍍膜頭可在幾秒內(nèi)快速更換，只能邏輯系統(tǒng)自動(dòng)識(shí)別所裝的鍍膜頭類型，并顯示相應(yīng)的操作模式。

注：上述各型號(hào)都可配備如下可選的附件：金屬蒸鍍、碳絲蒸鍍、膜厚測(cè)量等

觸摸屏控制：

EMS150T鍍膜儀操作十分簡(jiǎn)單，直觀的觸摸屏，即使最不熟練的操作者也可以自由操作，同時(shí)可方便的鍵入和存儲(chǔ)數(shù)據(jù)。為了方便使用，設(shè)備中已經(jīng)預(yù)存一些了典型的濺射和蒸發(fā)鍍膜參數(shù)資料。

鍍膜插入頭選項(xiàng)：

l  具有一系列可互換、即插即用的鍍膜插入頭

l  濺射插入頭適用于易氧化和不易氧化金屬材料，直徑57mmX0.3mm厚鉻靶為標(biāo)準(zhǔn)靶材，可用另外的濺射插入頭來快速更換鍍膜材料（僅為TS和TES型號(hào)）

l  適用于3.05mm碳棒蒸發(fā)插入頭

l  適用于6.15mm碳棒蒸發(fā)頭，建議使用3.05mm直徑的碳棒，它們更容易控制、更經(jīng)濟(jì)

l  碳絲蒸發(fā)插入頭

l  金屬蒸發(fā)和光闌潔凈頭，包括向上蒸發(fā)或向下蒸發(fā)（僅為TE和TES型號(hào)）

樣品臺(tái)選項(xiàng)：

l  EMS150T鍍膜儀具有各種易更換的樣品臺(tái)，drop-in落入式設(shè)計(jì)具高度可調(diào)（除旋轉(zhuǎn)行星臺(tái)）。

l  標(biāo)準(zhǔn)配置為旋轉(zhuǎn)臺(tái), 直徑為50mm

l  可預(yù)設(shè)傾斜角度的旋轉(zhuǎn)臺(tái)（可選）

l  可變角度旋轉(zhuǎn)行星臺(tái)（可選）

l  可用于4〞晶圓的平面旋轉(zhuǎn)臺(tái)（可選）

l  顯微鏡載玻片樣品臺(tái)（可選）

其它選項(xiàng)：

l  用于高樣品的加高腔室

l  膜厚監(jiān)測(cè)器（FTM）

l  用于測(cè)量低和高真空的全范圍真空計(jì)

特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn):

l  金屬濺射或碳蒸發(fā)或兩者兼?zhèn)洌阂惑w化設(shè)計(jì)，節(jié)約空間

l  精細(xì)顆粒濺射：高分辨率場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）制樣的精細(xì)鍍膜應(yīng)用 

l  渦輪分子泵高真空系統(tǒng)：允許不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材的濺射鍍膜，大大拓寬了可濺射靶材范圍，既適合普通SEM、高分辨率FE-SEM鍍膜制樣應(yīng)用，也為許多薄膜應(yīng)用等材料科研領(lǐng)域提供理想的鍍膜平臺(tái) 

l  全自動(dòng)觸摸屏控制：快速數(shù)據(jù)輸入，簡(jiǎn)單操作 

l  可儲(chǔ)存多個(gè)客戶自定義鍍膜方案：對(duì)多用戶實(shí)驗(yàn)室十分理想 

l  與鍍膜過程和鍍膜材料相匹配的預(yù)編程自動(dòng)真空控制 

l  精細(xì)的厚度控制：使用膜厚監(jiān)控選項(xiàng) 

l  “智能”式系統(tǒng)識(shí)別：自動(dòng)感知用戶所裝的插入式鍍膜頭的類型 

l  高真空碳蒸鍍：對(duì)SEM和TEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想 

l  蒸發(fā)電流波形控制 

l  Drop-in落入式快換樣品臺(tái)（標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺(tái)） 

l  真空閉鎖功能：可讓工作腔室處于真空狀態(tài)，改善后續(xù)真空效果，或在真空條件下保存樣品

l  鍍制厚膜能力：一次真空條件下的濺射時(shí)間可長達(dá)60分鐘（材料科研領(lǐng)域的應(yīng)用）

l  人體工程學(xué)設(shè)計(jì)的整體成型機(jī)殼：易維護(hù)和易拆裝 

l  帶有本地FTP服務(wù)器連接的以太網(wǎng)端口：簡(jiǎn)單的程序更新 

l  設(shè)有功率因素補(bǔ)償，有效利用電能，降低運(yùn)行成本 

l  符合當(dāng)前電器法規(guī)（CE認(rèn)證） 

EMS150T儀器參數(shù)：