Shadow Moiré 技術(shù)
Shadow Moiré 是一種非接觸式，全視野的光學(xué)技術(shù)，用樣品上的參考光柵和它的影子之間的幾何干擾產(chǎn)生摩爾云紋分布圖(Moiré Pattern)，進(jìn)而計算出各像素位置中的相對垂直位移。它需要一個倫奇刻劃光柵(Ronchi-ruled grating)，一條大約45度角的光源和一個垂直于光柵的相機。
Shadow Moiré的Phase stepping技術(shù)增加測量分辨率，右圖中示出其光學(xué)集成圖像與加熱腔室。
新一代表面測量和分析技術(shù)
Akrometrix的專利TherMoiré技術(shù)是行業(yè)領(lǐng)先的熱變形翹曲分析技術(shù)。自一九九八年以來，TherMoiré產(chǎn)品作為翹曲管理解決方案，服務(wù)于全 球企業(yè)。TherMoiré技術(shù)可以模擬回流焊工藝和操作環(huán)境條件、同時捕捉一個完整的歷史翹曲位移表現(xiàn)。運用這重要信息，獲得元器件/基板翹曲度的一致性來直接影響一級和二級裝配產(chǎn)量和提高產(chǎn)品的可靠性?？蓱?yīng)用于研發(fā)/診斷/生產(chǎn)監(jiān)控，測試結(jié)果符合國際標(biāo)準(zhǔn) (JEDEC, JEITA等)，測試精度為微米級，極大滿足高端客戶對翹曲測試監(jiān)控的要求，是國際主流并被JEDEC,JEITA等標(biāo)準(zhǔn)推薦的測試方法，主要參數(shù)有 Coplanarity，Sign warpage，F(xiàn)ulfill signed warpage， Twist，Bow，CTE 等。
TherMoiré AXP3 產(chǎn)品特性
? 最小樣品尺寸 : 2 mm x 2 mm
? 在 2 秒內(nèi)獲得 170 萬個資料點
? Warpage 分辨率 500nm（300 LPI光柵）
? 上、下加熱器獨立控制
? 支援溫度范圍 -50oC~350oC
? 最 高加熱速率 50°C ~250°C, 3.5oC/s
? 最 高降溫速率 250°C ~125°C, 2.25oC/s
? 可集成DFP及DIC技術(shù)
自動化控制
? 軟體控制排氣速度
? 大尺寸觸控式螢?zāi)蝗藱C界面用于機器控制
? 陰影云紋鏡頭自動化控制
? 進(jìn)樣門鎖定
? 改進(jìn)熱電偶控制和回應(yīng)的新型PLC控制系統(tǒng)
? AXP3相機的視場可在軟件中自由設(shè)定，增加使用的靈活性
? 可以測量不噴漆的樣品
? 來自前后的雙重降溫裝置，及左、右和底部的
3倍排氣通道，帶來更快、更均勻的降溫效果
Digital Fringe Projection - DFP 解決方案模組
? FOV 可移動到樣品上的任何位置 (Gantry fixture)
? 改進(jìn)的頂部/底部的溫度均勻性 - 無光柵
? 應(yīng)用于錫球的共面性測量，非連續(xù)面和插座測量
? 高錫球的共面性測量X / Y分辨率
Digital Image Correlation - DIC CTE模擬模組
? 數(shù)據(jù)采集時間少于1秒
? 溫度范圍 : -55°C - 350°C
? In-Plane面分辨率達(dá): <1 μm
? 應(yīng)變分辨率 : <100 Microstain (Δ L/L x 10-6)
? 可量測範(fàn)圍: 115mm x 150mm
Convective Module - CM低溫模擬模組
? 可容納最 大200mm x 200mm的樣品
? 從-55°C到300°C加熱和冷卻
? 由Studio Surface Measurement 自動控制
? 可調(diào)節(jié)的加熱，冷卻和氣流速率
? 加強Akrometrix工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的Shadow Moiré量測技術(shù)。
? 提供Z方向的解析度從 2.5微米降到次微米級別。
Akrometrix Studio 軟體
? 極大地提高了樣品不噴漆檢測能力
? 可自定多個采樣區(qū)域(Multi-ROI)及自動追蹤識別樣品
? * "3S Warpage" 能判斷不規(guī)則、不適合、并以簡單正負(fù)號形容的表面。(Signal Strengths Sign)
Max Warpage Gradient (MWG): 通過查看每個數(shù)據(jù)點周圍小區(qū)域內(nèi)的高度變化來量化數(shù)據(jù)集的最 高斜率區(qū)域。主要用于比較數(shù)據(jù)集。僅報告一個最 高值。
? 應(yīng)用于測量結(jié)果時，可自行定制“合格/不合格”標(biāo)準(zhǔn)。
? 與樣品跟蹤多個樣品測試一起運作。
? 在室溫下和在熱外貌下工作。
* HNP/H0P(頭枕效應(yīng)) * 短路 * 斷路
FOWLP的翹曲解決方案
? 利用Shadow Moiré 技術(shù)進(jìn)行翹曲測量
常溫翹曲測量儀 – 車間生產(chǎn)環(huán)境理想解決方案
適用于單機式在線SMT解決方案
? LED光源
? 高強度均勻性
? 低發(fā)熱量
? 顯示器/鍵盤/ PC塔
? 在Akrometrix Studio軟體套件
上運行
? 與所有Akrometrix系統(tǒng)相同的
軟體介面
? 尺寸(高x寬x深)：
678 x 491 x 530mm
(26.7“x 19.3”x 20.9“)
? 重量：32.6kg（71磅）
滬公網(wǎng)安備 31011502008050號