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德國Sentech 多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機(jī) Etchlab 380
- 品牌：德國Sentech
- 產(chǎn)地：歐洲 德國
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥5000000
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
更新時(shí)間：2025-04-27 09:57:23 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品德國 Sentech(32件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 德國Sentech 多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機(jī) Etchlab 380，最大 300 mm 晶圓，用于多個(gè)晶圓的 380 mm 載體
詳細(xì)介紹
德國Sentech 多晶圓等離子體反應(yīng)刻蝕機(jī) Etchlab 380
主要特點(diǎn)
·打開蓋子
·300 mm 晶圓
·380 毫米托架
·多片加工
應(yīng)用特點(diǎn)
·硅及相關(guān)材料的蝕刻
·金屬濺射
·亞微米蝕刻
技術(shù)特點(diǎn)
·600 瓦/1100 瓦，13.56 MHz
·360 升/秒渦輪分子泵
·旋轉(zhuǎn)前級(jí)泵
·打開蓋子
·多達(dá) 12 條燃?xì)夤芫€
·最 大 300 mm 晶圓
·用于多個(gè)晶圓的 380 mm 載體
·設(shè)計(jì)緊湊，占地面積小
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