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德國Sentech 等離子刻蝕機(jī) SI 500 RIE
- 品牌：德國Sentech
- 產(chǎn)地：歐洲 德國
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià)：￥5000000
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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司
更新時(shí)間：2025-04-27 09:57:23 -
銷售范圍售全國
入駐年限第7年
營業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品德國 Sentech(32件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 德國Sentech 等離子刻蝕機(jī) SI 500 RIE，RIE 蝕刻機(jī)，最大 8 英寸晶圓, 帶可選的 ICP 源擴(kuò)展
詳細(xì)介紹
德國Sentech 等離子刻蝕機(jī) SI 500 RIE
SI 500 RIE
帶 He 背面冷卻的襯底電極
基板的背面冷卻保證了 +/-1K的溫度穩(wěn)定性和/或?qū)悠返臏囟缺３衷诘椭怠?/p>
SI 500 CCP
RIE 蝕刻機(jī)，帶可選的 ICP 源擴(kuò)展
技術(shù)和特點(diǎn)：
SI 500 RIE
·600 瓦，13.56 MHz·360 升/秒渦輪分子泵·旋轉(zhuǎn)前級(jí)泵·磁電機(jī)氣動(dòng)負(fù)載鎖·12/16 根燃?xì)夤芫€·帶機(jī)械晶圓夾緊的電極·最 大 8 英寸晶圓·OES、SLI 可選SI 500 CCP
1360 l/s 渦輪分子泵
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