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    JSM-IT500HR掃描電子顯微鏡

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    JSM-IT500HR掃描電子顯微鏡 核心參數(shù)
    分辨率 1.5nm(@30kV),4nm(@1kV)

    產品特點

    JSM-IT500HR掃描電子顯微鏡, 采用新開發(fā)的高亮度電子槍和透鏡系統(tǒng),可以更迅速便捷地提供令人驚嘆的高分辨率圖像、高靈敏度和高空間分辨率;從設定視野到生成報告,利用完全集成的軟件大大地提高了作業(yè)速度。

    詳細介紹

     JSM-IT500HR掃描電子顯微鏡是JEOL InTouchScope?系列的新機型, 采用新開發(fā)的高亮度電子槍和透鏡系統(tǒng),可以更迅速便捷地提供令人驚嘆的高分辨率圖像、高靈敏度和高空間分辨率;從設定視野到生成報告,利用完全集成的軟件大大地提高了作業(yè)速度。


    主要特點:

    ×100,000 SEM像輕松獲得


    1465-1-1.jpg


    JSM-IT500HR采用了新開發(fā)的高亮度電子槍和透鏡系統(tǒng),因而能獲得令人驚嘆的高畫質圖像。即使對實時圖像,也能輕松地在CCD圖像上從尋找視野迅速過渡到高倍率(×100,000)觀察。


    輕松的元素分析

    1465_2.jpg


    利用Live Analysis 功能可以不必再分別考慮高倍率觀察和EDS分析。

    在觀察屏幕上可以隨時顯示分析區(qū)域內的特征X射線譜圖以及自動定性的主要構成元素,利用此功能還可以發(fā)現(xiàn)感興趣的元素和一些意想不到的元素。

    ◇ 快速面分布&長時間面分布


    70秒!面分布結果

    1465_3.jpg

    安裝大口徑的EDS支持快速面分布。

    由于JSM-IT500HR的高亮度電子槍能提供穩(wěn)定的探針電流,因此無論是進行大區(qū)域的長時間面分布還是整夜運轉儀器檢查全部的數(shù)據(jù),都可以從容應對。


    ◇ 數(shù)據(jù)集中管理軟件SMILE VIEWTM Lab


    1465_4.jpg


    SMILE VIEWTM Lab是一個完全集成的數(shù)據(jù)管理軟件,能對與樣品臺坐標關聯(lián)的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結果等數(shù)據(jù)進行統(tǒng)一管理,可以快速生成報告。利用SMILE VIEWTM Lab數(shù)據(jù)管理屏幕能對所有數(shù)據(jù)進行集中管理。利用樣品架示意圖或CCD圖像獲取的低倍率圖像與觀察位置、觀察及分析結果以相互關聯(lián)的形式被保存了起來。可以輕松查看或重新分析以前采集的數(shù)據(jù)并反映到報告中去。


    基本參數(shù)

    分辨率

    高真空模式

    分析時

    低真空模式

    1.5nm(@30kV),4nm(@1kV)

    3nm(@15kV,探針電流1nA)

    1.8nm(15kV,BED)

    放大倍率

    X5-X600,000(以128X96mm 的顯示尺寸規(guī)定放大倍率

    顯示倍率

    X14-X1,679,449(358mmX269mm的顯示尺寸規(guī)定放大倍率)

    電子槍

    高亮度六硼化鑭電子槍

    加速電壓

    加速電壓:0.5kV30kV連續(xù)可調

    低真空壓力范圍

    10150Pa

    ZJ光闌角控制鏡

    內置

    物鏡光闌

    4檔,帶有XY微調功能

    自動功能

    電子束對中調整

    自動聚焦/自動消像散/自動亮度/自動襯度

    zui大樣品尺寸

    200直徑X75mm高度

    200直徑X80mm高度

    32直徑X90mm高度

    樣品臺

    大型全對中樣品臺

    X125mm,Y:100mm,Z:80mm

    傾斜:-10-90°,旋轉:360°

    圖像模式

    二次電子像、REF像、成分像、拓撲像、陰影像等’

    顯示器

    24寸觸摸屏




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