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    掃描電子顯微鏡 SU3500

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    Hitachi的掃描電子顯微鏡SU3500 高畫(huà)質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。
    通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立zuixian極n科技“獨(dú)具匠心”。

    詳細(xì)介紹

    掃描電子顯微鏡 SU3500

                           

    Hitachi的掃描電子顯微鏡SU3500 高畫(huà)質(zhì)的鎢燈絲掃描電鏡, 圖象質(zhì)量更進(jìn)一步。 通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性, 凝聚日立zuixianjin科技“獨(dú)具匠心”。

    SU3500鎢燈絲掃描電鏡具有實(shí)現(xiàn)了“3 kV加速電壓7 nm分辨率”的全新電子光學(xué)系統(tǒng), 可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀(guān)察功能”*1、以及更高檢測(cè)效率的 “UVD超高靈敏度可變壓力檢測(cè)器”*1它為觀(guān)察和分析提出了嶄新的標(biāo)準(zhǔn)。

    • *1:

    • 自選


    特點(diǎn)

    • 低加速電壓觀(guān)察時(shí)分辨率更高,可更好地觀(guān)察樣品最表面的細(xì)微形狀和更有效地降低樣品的損壞

    • 全新設(shè)計(jì)的電子光學(xué)系統(tǒng)和信號(hào)處理技術(shù)實(shí)現(xiàn)了高速掃描和低噪音的觀(guān)察

    • 和以前的常規(guī)掃描電子顯微鏡相比*2自動(dòng)功能縮短*3了大約11秒

    • 具有在低真空時(shí)可以非常好地觀(guān)察樣品最表面的細(xì)微形狀的“UVD(超高靈敏度可變壓力探測(cè)器)”*4

    • 具有實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)立體成像的“實(shí)時(shí)立體觀(guān)察功能”*4

    • *2:

    • 和日立SEM S-3400N相比

    • *3:

    • 根據(jù)觀(guān)察條件的不同,時(shí)間會(huì)有變動(dòng)

    • *4:

    • 自選






    規(guī)格

    項(xiàng)目描述
    二次電子分辨率3.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm高真空模式)
    7.0 nm(加速電壓=3 kV,WD=5 mm高真空模式)
    背散射電子分辨率4.0 nm(加速電壓=30 kV,WD=5 mm低真空模式)
    10.0 nm(加速電壓=5 kV,WD=5 mm高真空模式)
    放大倍率5 - 300,000倍(底片倍率*5)
    7 - 800,000倍(顯示器顯示倍率*6)
    加速電壓0.3~30kV
    可變壓力范圍6~650Pa
    最大樣品尺寸直徑 200 mm
    樣品臺(tái)X0~100mm
    Y0~50mm
    Z5~65mm
    R360°
    T-20~90°
    可觀(guān)察區(qū)域直徑 130 mm(旋轉(zhuǎn)并用)
    最大樣品高度80mm(WD=10mm)
    馬達(dá)臺(tái)5軸標(biāo)配
    電子光學(xué)系統(tǒng)電子槍預(yù)對(duì)中的鎢燈絲
    物鏡光闌4孔可動(dòng)光闌
    探檢測(cè)器埃弗哈特 索恩利 二次電子探測(cè)器
    高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
    EDX分析 WD10 mm(取出角35°)
    圖像顯示操作系統(tǒng)Windows?7(有更改,恕不另行通知)
    圖像顯示模式全屏模式(1,280 × 960 像素)
    小屏模式(800 × 600 像素)
    雙圖像顯示(800 × 600 像素)
    四屏幕顯示(640 × 480像素)
    信號(hào)混合模式
    排氣系統(tǒng)操作全自動(dòng)排氣
    渦輪分子泵261升/秒 × 1
    機(jī)械泵135 L/min.(162 L/min.,60Hz) × 1
    • *5:

    • 以127 mm × 95 mm(圖像尺寸4" × 5")的顯示尺寸規(guī)定倍率

    • *6:

    • 以345 mm × 259 mm(像素1,280 × 960)的顯示尺寸規(guī)定倍率





    觀(guān)察例


    試料:樹(shù)脂填料(玻璃纖維)
    加速電壓:1 kV
    放大率:×1,000
     


    試料:二氧化鈦顆粒
    加速電壓:3 kV
    放大倍率:×15,000 樣品未作導(dǎo)電性處理
    樣品提供:由東北大學(xué) 垣花 眞人 様



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