GATAN SOLARUS (955)Plasma Cleaning System等離子清洗儀

產(chǎn)品功能介紹
　　等離子清洗技術(shù)起源于約30年前的半導(dǎo)體行業(yè),等離子清洗主要用于清洗樣品表面的碳?xì)浠衔?等離子清洗的關(guān)鍵要點(diǎn)在于：不能改變樣品本身的化學(xué)組成;不能改變樣品的結(jié)構(gòu)特征;不能損傷樣品表面.

技術(shù)特點(diǎn)：
　　Solarus是一種獨(dú)特的清洗解決方案，它利用等離子配方，對(duì)于所有的樣品，包括Holey碳膜，都具有更快更徹底的清洗效果。該設(shè)備能安全地清洗掉表面沉積的污染物—擴(kuò)展了對(duì)已經(jīng)被污染的樣品的觀察時(shí)間。采用分子泵搭配多級(jí)隔膜泵的真空系統(tǒng)可確?？焖倏煽康某闅庑Ч?。不到1分鐘的抽氣與放氣時(shí)間，30秒--2分鐘的清洗時(shí)間，整個(gè)過(guò)程不用2分鐘。

使用等離子清洗的hao處：
增強(qiáng)成像能力
提高元素分析的準(zhǔn)確性
在SEM中，延長(zhǎng)EDX和EBSD的觀察和采集時(shí)間
可使用更小的束斑，這對(duì)于TEM/STEM中的STEM和EELS分析非常重要。

特點(diǎn)：
1.)獨(dú)特的H2/O2配方
2.)更快的清洗周期（不到2分鐘）
3.)交互式的觸摸屏設(shè)計(jì)
4.)提供7種經(jīng)測(cè)試過(guò)的一鍵操作式配方
5.)2個(gè)用于裝載側(cè)插TEM和SEM樣品桿的前置裝樣口
6.)頂部裝樣口可裝載多個(gè)（>25）TEM微柵或者SEM樣品臺(tái)/樣品
7.)自動(dòng)匹配功率的射頻源確保等離子源的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定
8.)精確的氣體流量控制（質(zhì)量流量計(jì)）
9.)最小損傷的清洗Holey碳膜
10.)支持多種語(yǔ)言（英語(yǔ)、中文、日語(yǔ)、韓文、法語(yǔ)、德語(yǔ)）

技術(shù)參數(shù)：
射頻源:  50瓦的射頻電源，具有功率自動(dòng)匹配功能
真空系統(tǒng)：70升/秒的分子泵搭配兩級(jí)隔膜泵
氣壓： 5E-6 Torr基本壓力，400mTorr工作壓力 
真空規(guī)：緊湊的皮拉尼規(guī)
艙室：
 兩個(gè)前置接口能裝載TEM適配器，用于裝載側(cè)插TEM樣品桿和SEM樣品桿
 頂部入口用于放入SEM樣品臺(tái)，顯微鏡鏡筒部件或者各種真空件
         艙室尺寸為3.5”直徑 x 2.0” 深度
 前置觀察窗能觀察工作時(shí)的等離子體發(fā)光
    內(nèi)置的電磁閥將艙室與真空泵之間隔離開(kāi)，抽真空時(shí)間不到1分鐘，放氣時(shí)間小于5秒。
氣體控制：采用精確的質(zhì)量流量計(jì)來(lái)測(cè)量及控制氣體流量
氣體種類(lèi)：采用三路獨(dú)立氣體（H2，O2和Ar）
清洗配方：提供包含有H2/O2配方等一系列配方，同時(shí)支持用戶(hù)自定義配方
用戶(hù)界面：采用交互式觸摸屏，提供包含有中文、英文等多種語(yǔ)言界面
電源：通用電壓/頻率100VAC - 240VAC/50-60Hz/1000W

產(chǎn)品主要應(yīng)用

去除碳?xì)浠衔飳?duì)TEM和SEM樣品臺(tái)或樣品的污染

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