VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀

VTC-16-3HD3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀（直流普通型），控制面板采用觸摸屏模式，基片最大尺寸2″，放置樣品的直徑為Φ50mm，加熱溫度達(dá)500℃。本機(jī)可濺射金、銀、銅三種靶材，并采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺，能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜。

主要特點(diǎn)

1、PLC控制面板，4.3″觸摸屏，PID控溫方式。

2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片加熱溫度。

3、可與真空泵、不銹鋼波紋管KFD25快速卸裝卡箍連用。

4、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、輸入功率：110V/220V通用 2000W（含真空泵）

2、輸出功率：1600VDC 50mA（最大電流）

3、石英罩：Φ160mm×120mm

4、樣品臺：Φ50mm（可選購加熱型樣品臺，最高溫度可到500℃；最長濺射時間不可超過5min）

5、真空泵：120L/M旋片式真空泵

6、進(jìn)氣口：裝有精密可調(diào)針閥，以實現(xiàn)方便的調(diào)節(jié)進(jìn)氣量

7、靶材：尺寸直徑Φ47mm，厚度0.5mm-3mm；可濺射Au、Ag、Pt、Cr、Ni，不可濺射氧化物、半導(dǎo)體、一些輕

　　 金屬、Al、Zn、C等

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：360mm×350mm×3600mm

重量：50kg

可選配件

1、KF25真空接口、卡箍

2、不銹鋼波紋管（600mm）

3、旋片式真空泵（120L/M）

4、鉑、銀、鋅等各種高純度金屬靶材

5、加熱型樣品臺