GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀

GSL-1100X-SPC-16單靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子濺射儀，可進(jìn)行金、鉑、銦、銀等多種金屬的濺射鍍膜，樣品直徑可達(dá)50mm，鍍膜厚度可達(dá)300埃，特別適用于SEM樣品的鍍膜。

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時(shí)監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得**鍍膜效

果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長(zhǎng)期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5、根據(jù)電場(chǎng)中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

1、電源：220V

2、總功率：<2000W（包括真空泵）

3、真空室：Φ160mm×120mm

4、樣品臺(tái)：Φ50mm，且高度可調(diào)，可同時(shí)進(jìn)行8個(gè)SEM樣品的鍍膜

5、最大均勻鍍膜：Φ45mm

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：400mm×300mm×400mm

重量：30kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1、金靶材

2、進(jìn)氣針閥

3、保險(xiǎn)絲

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材