GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀

GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀是依據(jù)二極（DC）直流濺射原理設(shè)計(jì)而成的最簡單、可靠、經(jīng)濟(jì)的鍍膜設(shè)備，適用于實(shí)驗(yàn)室各種復(fù)合膜樣品的制備，以及非導(dǎo)體材料實(shí)驗(yàn)電極的制作。

主要特點(diǎn)

1、設(shè)有真空表、濺射電流表，可實(shí)時監(jiān)控工作狀態(tài)。

2、通過調(diào)節(jié)濺射電流控制器、微型真空氣閥，控制真空室壓強(qiáng)、電離電流及選擇所需要的電離氣體，以獲得**鍍膜效

果。

3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設(shè)計(jì)，可保證長期使用不出現(xiàn)玻璃鐘罩崩邊現(xiàn)象。

4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經(jīng)久耐用。

5、根據(jù)電場中氣體電離特性，采用大容量濺射真空室和相應(yīng)面積濺射靶，使濺射鍍層更均勻純凈。

6、濺射頭采用Peltier制冷技術(shù)，可得到高性能、精細(xì)顆粒的涂層。

7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。

技術(shù)參數(shù)

1、靶：Φ50mm

2、真空室：Φ160mm×120mm

3、真空度上限：≤4×10^-2mbar

4、電流上限：50mA（100mA）

5、可設(shè)定最長時間：9999s

6、微型真空氣閥：連接Φ3mm軟管

7、電壓上限：1600V DC

8、機(jī)械泵：2L/s

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：360mm×300mm×380mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1、金靶材

2、進(jìn)氣針閥

3、保險(xiǎn)絲

可選配件

金、銦、銀、鉑等各種靶材