精密離子減薄儀

離子減薄儀（Precision Ion Polishing System ）：為整套TEM樣品制備的zui后一道工序，經(jīng)氬離子減薄的樣品可在TEM 下直接觀察。GATAN型號(hào)691zuixin一代精密離子減薄儀在標(biāo)準(zhǔn)配置中增加了低能量離子槍功能，zuidi離子槍能量只有0.1KeV，尤其適合能量敏感性樣品。此外，剛剛新推出的可選配置液氮冷臺(tái)，可滿足用戶對(duì)溫度敏感性樣品減薄的需求。

離子源
離子槍 兩個(gè)潘寧離子槍與微型稀土永磁體
減薄角度 +10° 到 -10°，每個(gè)離子槍均獨(dú)立可調(diào)節(jié)
離子束能量 100eV 到6.0 KeV
光束直徑 5keV 下350μm FWHM - 寬離子槍5keV 下800μm FWHM
離子電流密度 最大 10mA/cm2
離子束調(diào)制 通過(guò)熒光屏精密調(diào)整離子束
離子束尺寸 通過(guò)氣體控制調(diào)整
樣品臺(tái)
樣品尺寸 3mm或2.3mm
底座 Gatan ZLDuoPost（標(biāo)準(zhǔn)）或者石磨載臺(tái)（可選配）
旋轉(zhuǎn)速率 1rpm - 6rpm
離子束調(diào)制 針對(duì)特殊橫截面可選擇單面或雙面減薄
觀測(cè)器 雙目顯微鏡 40X或80X
CCD相機(jī)搭配17’’LCD顯示器 300x-2200x（可選配）

真空
干燥泵系統(tǒng) 兩個(gè)部分，隔膜機(jī)械泵搭配一個(gè)70 升/秒渦輪分子泵
壓力 5E-6 Torr（6.6E-4Pa）基本壓力
8E-5 Torr（10.7E-3Pa）工作壓力
真空計(jì) 樣品室冷陰極標(biāo)尺，搭配固態(tài)壓力傳感器
樣品調(diào)換 GatanZL WhisperlokTM，樣品更換時(shí)間＜1分鐘
樣品的Airlock <30 秒

尺寸及功率
總尺寸 560mmW x 480mmD x 430mmH (22W x 19D x 17H)
貨運(yùn)重量 45kg （100 lbs）
能量消耗 運(yùn)行時(shí)需200W，離子槍關(guān)閉時(shí)需100W
電源要求 通用電壓 100VAC-240VAC，50/60Hz（用戶需確定電壓和頻率）
氣體 氬氣 25psi （1.42 bar,0.18 MPa）

PIPSTM是一臺(tái)深受客戶信賴的精密離子減薄儀，能夠以最小的耗費(fèi)制作出高質(zhì)量透射電鏡用樣品

ZD強(qiáng)調(diào)容易使用的特點(diǎn)，PIPSTM還具有完全手工控制，可靠，操作簡(jiǎn)便，易于維修的特點(diǎn)。Gatan PIPSTM包括了幾個(gè)獨(dú)特的設(shè)計(jì)特點(diǎn)。

高減薄速率，低角度小于1度

潘寧槍零部件無(wú)消耗

whisperlokZL快速、簡(jiǎn)單交換樣品

雙面樣品載臺(tái)（ZL），低角度減薄

離子束調(diào)制提供單面和雙面部分減薄

CCD圖像“實(shí)時(shí)”影像監(jiān)視錄影（可選配）

化學(xué)輔助離子束刻蝕（CAIBE），大大提高了半導(dǎo)體材料的細(xì)化（可選配）