CAMTEK - 自動晶圓光學(xué)檢測 (WAFER AOI) 系統(tǒng)

產(chǎn)品介紹：

Eagle AP

整合了 2D 和 3D 檢測和測量于同一平臺內(nèi)，保證在高性能下實(shí)現(xiàn)極高產(chǎn)能水平。

? 凸塊直徑和表面缺陷的檢測。

? RDL 測量和高度的檢測。

? TSV post-via-fill 突出物檢測 (凸起)。

? 2D 檢測：粒子，小裂縫，小劃痕，PM，墨點(diǎn)，污染，污跡等缺陷。

? 2D 量測：Bump，RDL，Pad，UBM，Via 的直徑丶寬度丶長度和位移。

? 3D 量測：Solder，Gold，Lead-free，Pillar，Copper，Micro bumps 和 Nails的高度丶共面性丶以及 PR/PI 厚度和 Via 開口的深度。

? 可編程彩色濾光片與可獨(dú)立控制的暗場和亮場的光源系統(tǒng)相結(jié)合，加上精細(xì)設(shè)計(jì)的算法能取得zui佳缺陷感知靈敏度，并提供zui佳的產(chǎn)能。

? 可選雙臂式機(jī)械手臂。

? 優(yōu)秀的多重倍率組合，實(shí)現(xiàn)高 TPT 與檢測平衡。

? 根據(jù) Die 內(nèi)不同區(qū)域的檢測要求，智能化分區(qū)，并采用不同的算法和參數(shù)，實(shí)現(xiàn)更精 準(zhǔn)的缺陷檢出。

? 在一個(gè)掃描周期內(nèi)，能連續(xù)運(yùn)用不同的對焦點(diǎn)，不同的倍率，不同的光照選項(xiàng)，設(shè)定不同的檢測靈敏度和算法引擎，實(shí)現(xiàn)高精 準(zhǔn)缺陷檢出。

? Tool Matching：允許在不同的機(jī)臺上運(yùn)行同一個(gè)工作 (同版本軟件)。

? 可進(jìn)行在線和離線的工作設(shè)定，交互式自動程序，便於區(qū)域的定義。

Eagle - i

為半導(dǎo)體工業(yè)從研發(fā)到高產(chǎn)量的環(huán)境需求而設(shè)計(jì)。

? 2D 檢測：粒子，小裂縫，小劃痕，PM，墨點(diǎn)，污染，污跡等缺陷。 

? 2D 量測：Bump，RDL，Pad，UBM，Via 的直徑、寬度、長度和位移。

? 可編程彩色濾光片與可獨(dú)立控制的暗場和亮場的光源系統(tǒng)相結(jié)合，加上精細(xì)設(shè)  計(jì)的算法能取得zui佳缺陷感知靈敏度，并提供zui佳的產(chǎn)能。

? 雙臂式機(jī)械手臂。 

? 優(yōu)秀的多重倍率組合，實(shí)現(xiàn)高 TPT 與檢測平衡。

? 根據(jù) Die 內(nèi)不同區(qū)域的檢測要求，智能化分區(qū)，并采用不同的算法和參數(shù)，實(shí)現(xiàn)更精 準(zhǔn)的缺陷檢出。

? 在一個(gè)掃描周期內(nèi)，能連續(xù)運(yùn)用不同的對焦點(diǎn)，不同的倍率，不同的光照選項(xiàng)，  設(shè)定不同的檢測靈敏度和算法引擎，實(shí)現(xiàn)高精 準(zhǔn)缺陷檢出。

? Tool Matching：允許在不同的機(jī)臺上運(yùn)行同一個(gè)工作 (同版本軟件)。

? 可進(jìn)行在線和離線的工作設(shè)定，交互式自動程序，便于區(qū)域的定義。

EagleT Plus

zui新 EagleT Plus 系列 AOI，是為更高速度和更高精確性而設(shè)計(jì)，是市場上速度zui快，zui高精度的 2D 檢測設(shè)備之一。EagleT Plus 提供了領(lǐng)先的 2D 檢測能力： 

? Genesis 檢測引擎

? 新一代 Camera

? 新一代高端光路系統(tǒng)

? LED 光源

? 基于 CAD 數(shù)據(jù)的 2D 檢測

? 強(qiáng)大的數(shù)據(jù)運(yùn)算能力

EagleT Plus 為 Fan-Out 應(yīng)用提供先進(jìn)解決方案：

? 低至 2um 的 RDL 檢測能力

? 可運(yùn)用于面板的檢測

? 支持高翹曲度晶圓的檢測

產(chǎn)品特點(diǎn)：

?低至0.2μm的表面缺陷檢測能力

?多重放大倍率，調(diào)節(jié)不同檢測需求

?可分區(qū)域，分別編程檢測

?基于CAD數(shù)據(jù)的2D檢測

?單次scan可以運(yùn)用不同focus高度，不同鏡頭倍率，不同光源，精度和算法。

?