日立 Q150R Plus 系列高真空離子濺射鍍膜儀

Q150R PLUS 系列全自動真空鍍膜儀

Q150R Plus適用于鎢燈絲/LaB6/部分場發(fā)射和臺式SEM。

通過Q150R E＆ES Plus碳繩鍍膜可用于元素分析，Q150R S＆ES Plus可用貴金屬靶材濺射鍍膜。

推薦放大倍數(shù)：

◆Au、Au/Pd可達5萬倍

◆Pt（可選）可達10萬倍

推薦應用：

◆中低倍放大倍數(shù)觀察

增強二次電子信號（1nm或更?。?/p>

◆臺式SEM鍍膜

◆元素分析（EDS）

◆敷銅層研究

Q150R Plus 功能特點：

1）全新升級的用戶界面：

電容式觸摸屏，靈敏度高，更易觸控使用

用戶界面軟件全面更新，使用現(xiàn)代智能技術(shù)界面

全面的文字幫助頁面

USB接口可輕松進行軟件更新和數(shù)據(jù)備份

 log文件格式為.csv，內(nèi)含日期、時間和工作參數(shù)，導出后可在Excel或類似軟件中分析

16GB的閃存可儲存超過1000條鍍膜方案

雙核ARM處理器，可實現(xiàn)快速響應的顯示

2）允許多用戶輸入和儲存鍍膜方案，并根據(jù)近期的使用來排列每個用戶的方案。

3）智能邏輯系統(tǒng)自動識別插入頭，并顯示相應的操作設(shè)置和控制。

4）系統(tǒng)提示用戶確認靶材，然后自動為該材料選擇合適參數(shù)。

5）直觀方便的軟件，即使新手也能快速輸入和存儲其處理參數(shù)，創(chuàng)建自己的鍍膜程序，且系統(tǒng)已存儲典型的濺射和鍍碳程序可供直接調(diào)用。

6）如果軟件檢測到在一段時間內(nèi)無法達到設(shè)定真空度，系統(tǒng)會終止程序，以防真空泵過熱。

7）可互換的插入頭：允許用戶將系統(tǒng)配置為濺射鍍膜儀、蒸鍍儀或輝光放電系統(tǒng) - 所有這些系統(tǒng)都可集成在一個設(shè)備中，節(jié)省空間?？蛇x碳繩蒸發(fā)。可自動檢測識別插入頭類型。

8）可拆卸腔室，設(shè)有防爆罩：可拆卸玻璃腔室，易清潔底座和頂板。如需要，用戶可快速更換腔室以避免敏感樣品交叉污染。高腔室選項可用于碳蒸發(fā)，避免樣品過熱；提高濺射的均勻性和承載較高尺寸的樣品。

9）多種樣品臺可選：Q150R Plus具有可滿足大多數(shù)要求的樣品臺。所有樣品臺都是插入式（無螺絲），易于更換。

10）安全性：Q150R Plus符合行業(yè)CE標準

Q150R Plus系列鍍膜儀具有三種型號：

1）Q150R S Plus全自動濺射鍍膜儀，可濺射不氧化金屬?？蔀R射的靶材包括金、金/鈀合金和鉑。

2）Q150R E Plus全自動碳繩蒸鍍儀，適合SEM領(lǐng)域的EDS和WDS應用。

3）Q150R ES Plus集成了離子濺射和碳蒸鍍兩種方式的全自動鍍膜系統(tǒng)。鍍膜頭可在數(shù)秒內(nèi)更換。

Q150R Plus是Quorum Technologies出品的國際認可的Q系列鍍膜儀的一部分，數(shù)千家客戶使用此類鍍膜儀。Q系列旨在為SEM、TEM和薄膜應用提供高質(zhì)量的鍍膜解決方案，Q系列功能多樣、價格合理且易于使用。

Q150R Plus主要操作參數(shù)：

離子濺射：濺射電流范圍寬，至預設(shè)厚度（需選用FTM）終止或定時終止。超長的可設(shè)濺射時間，無需破真空，自動內(nèi)置冷卻占空比。

蒸鍍：穩(wěn)定的無雜波直流電源控制的脈沖蒸發(fā)，確保碳繩蒸鍍的重復性。脈沖蒸發(fā)電流范圍寬。

可視化狀態(tài)指示：

大而多色的LED指示燈，使用戶在一定距離就可輕松識別過程狀態(tài)。

指示燈可顯示以下狀態(tài)：

◆ 初始化中 ◆ 程序運行

◆ 空閑狀態(tài) ◆ 正在鍍膜

◆ 程序完成 ◆ 故障停機狀態(tài)

程序完成后音頻聲音提示