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KLA 納米壓痕儀 G200X
- 品牌:美國(guó)KLA
- 型號(hào): G200X
- 產(chǎn)地:美洲 美國(guó)
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
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北京中海遠(yuǎn)創(chuàng)材料科技有限公司
更新時(shí)間:2024-10-10 15:07:32
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銷售范圍售全國(guó)
入駐年限第4年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類產(chǎn)品納米壓痕(5件)
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聯(lián)系方式:400-822-6768
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- KLA 納米壓痕儀 G200X 核心參數(shù)
產(chǎn)品特點(diǎn)
- 所有的納米壓痕試驗(yàn)都取決于精確的載荷和位移數(shù)據(jù),科磊公司Z新的第六代G200X型納米壓痕儀采用線性度極好的電磁驅(qū)動(dòng)的載荷裝置和相互獨(dú)立的三片電容位移傳感器,從而保證
測(cè)量的精確度,獨(dú)特的設(shè)計(jì)避免了橫向位移的影響。
科磊公司Z新的第六代G200X型納米壓痕儀的杰出設(shè)計(jì)帶來(lái)很多的便利性,包括方便的測(cè)試到整個(gè)樣品臺(tái),精確的樣品定位,方便的確定樣品位置和測(cè)試區(qū)域,簡(jiǎn)便的樣品高度調(diào)整,以及快速的測(cè)試報(bào)告輸出。模塊化的控制器設(shè)計(jì)為今后的升級(jí)和維護(hù)帶來(lái)極大的方便。此外,Z新的第六代G200X型納米壓痕儀完全符合各種國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),保證了數(shù)據(jù)的完整性和可比性??蛻艨梢酝ㄟ^每個(gè)力學(xué)傳感器自主設(shè)計(jì)試驗(yàn),在任何時(shí)候?qū)ζ溥M(jìn)行切換,同時(shí)整個(gè)設(shè)備占地面積小,適合各種實(shí)驗(yàn)室環(huán)境。 詳細(xì)介紹
Nano Indenter G200X 的主要指標(biāo):
1. 科磊公司是領(lǐng)先的半導(dǎo)體測(cè)量領(lǐng)域的公司
2 科磊公司在 在 193 83 年發(fā)明納米壓痕儀原型機(jī)
3 完全符合 ISO- - 14577 、 ASTM- - E2546- - 07 、 GB/T22458- -8 2008 和 GB/2 5898- -2 20 010 等所有標(biāo)準(zhǔn)的納米壓痕供貨商
4. 較大的加載范圍和極高的載荷分辨率 -適用于各種材料和硬質(zhì)薄膜及涂層檢測(cè)
5. 最大的壓頭移動(dòng)范圍和極高的位移精度-適用于各種較厚薄膜和涂層、粗糙度較大樣品的檢測(cè)
6. 科磊公司獨(dú)有的專利技術(shù)-連續(xù)剛度測(cè)量模塊
7. 科磊公司獨(dú)有的恒應(yīng)變加載模式
8. 領(lǐng)先的金剛石壓頭制造工藝
9. 整個(gè)測(cè)量過程中熱飄移效應(yīng)實(shí) 時(shí) 扣 除 — 科磊 公司獨(dú)有的技術(shù)
10.功能強(qiáng)大的 功能強(qiáng)大的 InView 6 6 控制軟件 控制軟件 — 同行業(yè)中公認(rèn)的最為強(qiáng)大的控制軟件
11. 真正的原位成像和原位納米力學(xué)測(cè)試功能
12. 性能優(yōu)越的防震抗噪系統(tǒng)
13. 全自動(dòng)控制的光學(xué)顯微鏡系統(tǒng)
14. 科磊公司在中國(guó)設(shè)置了當(dāng)?shù)氐木S修和培訓(xùn)中心
15. 強(qiáng)大的技術(shù)團(tuán)隊(duì)
16. 擁有國(guó)內(nèi)外高端領(lǐng)域最大的客戶群
位移測(cè)量方式 電容位移傳感器
壓頭位移范圍 ≥1.5mm
最大壓痕深度 >500um
位移分辨率 0.01nm
加載模式 電磁力
最大載荷(標(biāo)配) >500mN
載荷分辨率 50nN
高載荷選件 10N /50nN
高分辨壓痕選件 50mN / 3nN
框架剛度 ≥5x10 6 N/m
有效使用面積 100mmX100mm
定位精度 1um
定位控制模式 全自動(dòng)遙控
總的放大倍率 250 倍和 1000 倍
物鏡鏡頭 10X 和 40X
載荷范圍 | 50mN/500mN/1N/10N | 分辨率 | 3nN/50nN |
最大深度 | 500um | 位移分辨率 | 0.01nm |