KLA 納米壓痕儀 NanoFlip

      NanoFlip In SEM/FIB
      KLA InSEM 系列可以和各個(gè)SEM和FIB廠商的主流型號(hào)聯(lián)合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。
      電磁力驅(qū)動(dòng)載荷激發(fā)器
      KLA 公司全系列的力學(xué)測(cè)試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器。對(duì)納米壓痕物理模型和最優(yōu)線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。
       KLA InSEM 系列：超前的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，完全實(shí)現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測(cè)，實(shí)現(xiàn)納米壓痕檢測(cè)，包括動(dòng)態(tài)力學(xué)測(cè)試、軟材料測(cè)試、及薄膜測(cè)試等等。
        InForce50 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器
? zui大加載載荷： 50mN
? 縱向載荷分辨率： 3nN
? 壓頭zui大移動(dòng)范圍：45um
? 位移噪音背景: <0.01nm
? 位移數(shù)字分辨率： <0.002nm
         InForce1000 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器
? zui大加載載荷： 1000mN
? 縱向載荷分辨率： 6nN
? 壓頭zui大移動(dòng)范圍：80um
? 噪音背景: <0.1nm
? 位移數(shù)字分辨率： <0.004nm
NanoFlip 的樣品臺(tái)處于“Up”狀態(tài)時(shí)，SEM/FIB 可以方便的觀察樣品和進(jìn)行微區(qū)定位，當(dāng)樣品臺(tái)處于“Down”狀態(tài)時(shí)，SEM/FIB 又可以對(duì)整個(gè)力學(xué)實(shí)驗(yàn)過(guò)程進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察并進(jìn)行實(shí)時(shí)的視頻捕捉。
        數(shù)據(jù)采集 數(shù)據(jù)采集 ( (InQuest 控制器 控制器) )
 業(yè)內(nèi)響應(yīng)時(shí)間zui快、數(shù)據(jù)采集率zui高的控制系統(tǒng)，完美實(shí)現(xiàn)
材料瞬間變化的捕捉:
? 數(shù)據(jù)zui高采集率：100kHz
? 控制器時(shí)間常數(shù)：20us
高精度的納米馬達(dá)臺(tái)
? X 向zui大行程：20 mm
? Y 向zui大行程：20 mm
? Z 向zui大行程：25 mm
? Encoder X-Y-Z sensor resolution： 4 nm
      橫向加載控制
      NanoFlip 可提供 Gemini 雙子星選件，業(yè)內(nèi)真正實(shí)現(xiàn)原位橫向力和橫向位移的直接測(cè)量，業(yè)內(nèi)在納米尺度上精準(zhǔn)的實(shí)現(xiàn)多維度的磨損測(cè)試，實(shí)現(xiàn)多維度的動(dòng)態(tài)力學(xué)
      工作模式：
? 測(cè)量材料的摩擦系數(shù)或泊松比
? 精確的載荷、位移、動(dòng)態(tài)響應(yīng)在橫向和縱向的控制
? 多維度的硬度、磨損、黏附性的精準(zhǔn)測(cè)量
? 亞納米級(jí)移動(dòng)精度的樣品臺(tái)，實(shí)現(xiàn)精確定位
? S次實(shí)現(xiàn)橫向的納米和納牛級(jí)的準(zhǔn)靜態(tài)和動(dòng)態(tài)測(cè)試
        KLA 全系列的 InSEM 產(chǎn)品的動(dòng)態(tài)測(cè)試附件是由連續(xù)剛度專利技術(shù)的發(fā)明人研發(fā)的：動(dòng)態(tài)力學(xué)測(cè)試原理為在準(zhǔn)靜態(tài)加載過(guò)程中，施加在壓頭上一個(gè)正玄波，從而表征出隨著壓痕深度、載荷、時(shí)間或者頻率的變化材料力學(xué)性能的變化：
? 動(dòng)態(tài)激發(fā)頻率：0.1Hz-1000Hz
? 單次動(dòng)態(tài)力學(xué)測(cè)試可以代替>100 次靜態(tài)力學(xué)測(cè)試結(jié)果
? 在微小的力和位移測(cè)試下提供超精準(zhǔn)的動(dòng)態(tài)力學(xué)測(cè)試
? 實(shí)現(xiàn)檢測(cè)高分子材料的復(fù)合彈性模量
? 實(shí)現(xiàn)檢測(cè)軟材料蠕變性能
        原位快速表面 表面 3D 力學(xué) 力學(xué)性能 性能 Mapping 功能
? 快速的樣品表面硬度和楊氏模量的 Mapping 功能。
? 同時(shí)給出不同成分的力學(xué)結(jié)果的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。
? 不受樣品表面粗糙度和其它因素的影響
        原位快速表面4D力學(xué)性能性能Mapping功能
        KLA 的 NanoBlitz 4D 再次極大的擴(kuò)展了 已經(jīng)得到全行業(yè)認(rèn)可的連續(xù)剛度測(cè)試功能（ Continuous Stiffness
Measurement ) ，可以快速獲取到樣品硬度和楊氏模量在 XY向上的分布情況以及由表往里隨樣品壓入深度的變化情況，
用戶通過(guò)自定義恒應(yīng)變速率，非常快速(7s/點(diǎn))的對(duì)各種樣品和復(fù)合材料進(jìn)行力學(xué)研究，也可以應(yīng)用于各種失效分析