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    FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    1.自動(dòng)量程
    2.雙電組合測(cè)試方法
    3.標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器
    4.PC軟件運(yùn)行
    5.同時(shí)顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
    6.可顯示5位有效數(shù)字.

    詳細(xì)介紹

    FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

    .功能描述

    四點(diǎn)探針?lè)?,全自?dòng)化運(yùn)行測(cè)量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理;參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻;可設(shè)定探針壓力值、測(cè)試點(diǎn)數(shù)、多種測(cè)量模式選擇;真空環(huán)境,可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件.   報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析.


    FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

    .適用范圍

    晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量;選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片;新型電極設(shè)計(jì),如電鍍銅電阻測(cè)量等;半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽(yáng)能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.

     

    FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀

    三.技術(shù)參數(shù):

    規(guī)格型號(hào)

    FT-3110A

    FT-3110B

    1.電阻

    10^-5~2×10^5Ω

    10^-6~2×10^5Ω

    2.方塊電阻 

    10^-5~2×10^5Ω/□

    10^-6~2×10^5Ω/□

    3.電阻率 

    10^-6~2×10^6Ω-cm

    10-7~2×106Ω-cm

    4.測(cè)試電流 

    0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,

     

    10mA,100mA

    1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

    5.電流精度 

    ±0.1%

    6.電阻精度 

    ≤0.3%

    7.PC軟件操作

    PC軟件界面:電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、

    報(bào)表生成等

    8.壓力范圍:

    探針壓力可調(diào)范圍:軟件控制,100-500g可調(diào)

    9.探針

    針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機(jī)械游移率:≤0.3%

    圓頭銅鍍金材質(zhì),探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規(guī)格可定制

    10.可測(cè)晶片

    尺寸選購(gòu)

     

    晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);

    方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm

    11.分析模式

    單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測(cè)試

    12.加壓方式

    測(cè)量重復(fù)性:重復(fù)性≤3% 

    13.安全防護(hù)

    具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)

    14.測(cè)試環(huán)境

    真空

    15.電源

    輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W 

    16.選購(gòu)項(xiàng)目

    電腦和打印機(jī)



    四探針?lè)阶铚y(cè)試儀主圖.jpg四探針電阻測(cè)試儀主圖.jpg

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