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    FT-351系列高溫四探針電阻率測(cè)試儀

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    產(chǎn)品特點(diǎn)

    1.四探針測(cè)試儀匹配
    2.集成系統(tǒng)
    3.溫度達(dá)到1600度.
    4.PC軟件實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理及分析.
    5.具有保護(hù)氣體功能.

    詳細(xì)介紹

    FT-351系列高溫四探針電阻率測(cè)試

    一.概述:

    采用四探針雙電組合測(cè)量方法測(cè)試方阻和電阻率系統(tǒng)與高溫箱結(jié)合配置高溫四探針測(cè)試探針治具與PC軟件對(duì)數(shù)據(jù)的處理和測(cè)量控制,解決半導(dǎo)體材料的電導(dǎo)率對(duì)溫度變化測(cè)量要求,軟件實(shí)時(shí)繪制出溫度與電阻,電阻率,電導(dǎo)率數(shù)據(jù)的變化曲線圖譜,及過(guò)程數(shù)據(jù)值的報(bào)表分析.

    FT-351系列高溫四探針電阻率測(cè)試
    二.適用行業(yè)::

    用于:企業(yè)、高等院校、科研部門對(duì)導(dǎo)電陶瓷、硅、鍺單晶(棒料、晶片)電阻率、測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻以及測(cè)量導(dǎo)電玻璃(ITO)和其它導(dǎo)電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導(dǎo)率數(shù)據(jù).

    雙電測(cè)四探針儀是運(yùn)用直線四探針雙位測(cè)量。設(shè)計(jì)參照單晶硅物理測(cè)試方法并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。

    FT-351系列高溫四探針電阻率測(cè)試
    三. 型號(hào)及參數(shù):

    規(guī)格型號(hào)

    FT-351A

    FT-351B

    FT-351C

    1.方塊電阻范圍

    10^-5~2×10^5Ω/□

    10^-6~2×10^5Ω/□

    10^-4~1×10^7Ω/□

    2.電阻率范圍

    10^-6~2×10^6Ω-cm

    10^-7~2×10^6Ω-cm

    10^-5~2×10^8Ω-cm

    3.測(cè)試電流范圍

    0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,10mA,100 mA

    1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

    10mA ---200pA

    4.電流精度

    ±0.1%讀數(shù)

    ±0.1讀數(shù)

    ±2%

    5.電阻精度

    ≤0.3%

    ≤0.3%

    ≤10%

    6.PC軟件界面

    顯示:電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率

    7.測(cè)試方式

    雙電測(cè)量

    8.四探針儀工作電源

    AC 220V±10%.50Hz  <30W

    9.誤差

    ≤3%(標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果

    ≤15%

    10.溫度(選購(gòu))

    常溫--200℃;400℃;600℃;800℃;1000℃;1200℃;1400℃;1600℃

    11. 氣氛保護(hù)

    (氣體客戶自備)

    常用氣體如下:氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn),均為無(wú)色、無(wú)臭、氣態(tài)的單原子分子

    12.溫度精度

    沖溫值:≤1-3℃;控溫精度:±1°C

    13.升溫速度:

    常溫開(kāi)始400℃--800℃需要15分鐘;800℃-1200℃需要30分鐘;1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘

    14.PC軟件

    測(cè)試PC軟件一套,USB通訊接口,軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數(shù)據(jù)!

    15.電極(探針)材料

    標(biāo)配:鎢電極或鉬電極+電極(探針)陶瓷管 +高溫陶瓷樣品臺(tái),1套.

    16.探針間距

    直線型探針,探針間距:4mm;

    17.樣品要求

    樣品長(zhǎng)度要求≥13mm  樣品寬≥2mm或直徑≥13mm

    18.高溫電源:

    供電:400-1200℃ 電源220V,功率2-4KW;380V;1400℃-1600℃電源380V;功率4-6KW:

    19.標(biāo)配外(選購(gòu)):

    a電腦和打印機(jī)1套;b.標(biāo)準(zhǔn)電阻1-5個(gè);

    c.S型鉑銠探針電極(溫度范圍:200-1300度);

    d.B型鉑銠探針電極(溫度范圍:1400-1600度)




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