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FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀
- 品牌:瑞柯微
- 型號(hào): FT-3110
- 產(chǎn)地:浙江 寧波
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
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寧波瑞柯微智能科技有限公司
更新時(shí)間:2025-05-24 11:15:41
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銷(xiāo)售范圍售全國(guó)
入駐年限第10年
營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核
- 同類(lèi)產(chǎn)品全自動(dòng)四探針測(cè)試儀(2件)
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產(chǎn)品特點(diǎn)
- 1.自動(dòng)量程
2.雙電組合測(cè)試方法
3.標(biāo)準(zhǔn)電阻校準(zhǔn)儀器
4.PC軟件運(yùn)行
5.同時(shí)顯示電阻、電阻率、電導(dǎo)率數(shù)據(jù).
6.可顯示5位有效數(shù)字. 詳細(xì)介紹
FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀
一.功能描述:
四點(diǎn)探針?lè)?,全自?dòng)化運(yùn)行測(cè)量系統(tǒng),PC軟件采集和數(shù)據(jù)處理;參照A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)方法測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率和方塊電阻;可設(shè)定探針壓力值、測(cè)試點(diǎn)數(shù)、多種測(cè)量模式選擇;真空環(huán)境,可顯示:方阻、電阻率、顯示2D,3D掃描/數(shù)值圖、溫濕度值、提供標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)電阻件. 報(bào)表輸出數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析.
FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀
二.適用范圍晶圓、非晶硅/微晶硅和導(dǎo)電膜電阻率測(cè)量;選擇性發(fā)射極擴(kuò)散片;表面鈍化片;交叉指樣PN結(jié)擴(kuò)散片;新型電極設(shè)計(jì),如電鍍銅電阻測(cè)量等;半導(dǎo)體材料分析,鐵電材料,納米材料,太陽(yáng)能電池,LCD,OLED,觸摸屏等.
FT-3110系列全自動(dòng)四探針測(cè)試儀
三.技術(shù)參數(shù):規(guī)格型號(hào)
FT-3110A
FT-3110B
1.電阻
10^-5~2×10^5Ω
10^-6~2×10^5Ω
2.方塊電阻
10^-5~2×10^5Ω/□
10^-6~2×10^5Ω/□
3.電阻率
10^-6~2×10^6Ω-cm
10-7~2×106Ω-cm
4.測(cè)試電流
0.1μA.μA.0μA,100μA,1mA,
10mA,100mA
1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA
5.電流精度
±0.1%
6.電阻精度
≤0.3%
7.PC軟件操作
PC軟件界面:電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、壓力、
報(bào)表生成等
8.壓力范圍:
探針壓力可調(diào)范圍:軟件控制,100-500g可調(diào)
9.探針
針間絕緣電阻:≥1000MΩ;機(jī)械游移率:≤0.3%
圓頭銅鍍金材質(zhì),探針間距1mm;2mm;3mm選配,其他規(guī)格可定制
10.可測(cè)晶片
尺寸選購(gòu)
晶圓尺寸:2-12寸(6寸150mm,12寸300mm);
方形片:大至156mm X 156mm 或125mm X 125mm
11.分析模式
單點(diǎn)、五點(diǎn)、九點(diǎn)、多點(diǎn)、直徑掃描、面掃描等模式的自動(dòng)測(cè)試
12.加壓方式
測(cè)量重復(fù)性:重復(fù)性≤3%
13.安全防護(hù)
具有限位量程和壓力保護(hù);誤操作和急停防護(hù);異常警報(bào)
14.測(cè)試環(huán)境
真空
15.電源
輸入: AC 220V±10%.50Hz 功 耗:<100W
16.選購(gòu)項(xiàng)目
電腦和打印機(jī)
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