其它科學(xué)儀器設(shè)備

微米級芯片瞬態(tài)熱特性測試系統(tǒng)用于測量芯片瞬態(tài)結(jié)溫、熱阻組成、熱容組成等熱特性參數(shù)。系統(tǒng)主要構(gòu)成包括：紅外熱像儀、熱阻測試臺、電源、數(shù)據(jù)采集及分析系統(tǒng)（工作站電腦）、恒溫臺等。

掌握晶圓檢測核心技術(shù)——專注半導(dǎo)體探針測試領(lǐng)域

SA 系列探針臺是一款在非真空條件下實(shí)現(xiàn)高低溫環(huán)境的測試探針臺。該產(chǎn)品采用氣冷制冷，自動控溫，設(shè)備配置非常豐富。自帶屏蔽暗室，一方面可以屏蔽無線電磁干擾，另外一方面也可以保持氮?dú)庹龎涵h(huán)境下樣品在低溫時...

基于高可靠的閃光燈泵浦激光平臺，F(xiàn)iLaser FA-100 AIO激光系統(tǒng)為OEM客戶提供了緊湊的高能激光系統(tǒng)，能夠在1064、532、355和266nm提供~mJ脈沖能量。

RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能、全自動反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng)，能夠滿足非腐蝕性氣體化學(xué)Z苛刻的工藝要求。 計算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編程和存儲提供了用戶友好的界面。該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確的側(cè)壁輪廓控制...

PHEMOS-1000 是一款高分辨率微光顯微鏡，它能通過探測半導(dǎo)體器件缺陷導(dǎo)致發(fā)射的微弱光和熱來定位失效位置。由于 PHEMOS-1000 可與通用探測儀結(jié)合使用，因此您可以使用您已經(jīng)熟悉的樣品設(shè)置...

用于 TEM 和 STEM 成像或原子探針斷層掃描的樣品制備。產(chǎn)品可實(shí)現(xiàn)先進(jìn)的自動化操作，簡單易用，并且能夠進(jìn)行高質(zhì)量的亞表面 3D 表征。

PlasmaPro 80是一種結(jié)構(gòu)緊湊、小尺寸且使用方便的直開式系統(tǒng)，可以提供多種刻蝕和沉積的解決方案。 它易于放置，便于使用，且能確保工藝性能。直開式設(shè)計可實(shí)現(xiàn)快速晶圓裝卸，是研究和小批量生產(chǎn)的理想...

AXISTEC激光晶圓劃片機(jī)，采用高精度激光，形成極小的光點(diǎn)，因其非接觸式加工，對工件本身無機(jī)械沖壓力，工件不易變形，且熱影響極小，激光壽命長，搭配高精度平移臺，使得劃片精度高，速度快，成本更低。

自準(zhǔn)直儀是一種用于檢測平面反射鏡微小角度變化的光學(xué)測量儀器，從功能上理解，自準(zhǔn)直儀是將準(zhǔn)直儀 （或平行光管）和準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡結(jié)合為一體的一臺儀器。自準(zhǔn)直儀通常由光源、分劃板、分光鏡、物鏡以及望遠(yuǎn)接收部分...

單粒子效應(yīng)對應(yīng)用于航天以及核工業(yè)的芯片往往造成極大危害，相對于傳統(tǒng)的粒子加速器而言，利用脈沖激光進(jìn)行檢測可以極大地提GX率，降低成本。以下型號型號激光SEE測試儀已經(jīng)被應(yīng)用于美國波音公司和NASA。