
橢偏儀/橢圓偏振儀
是一種用于探測薄膜厚度、光學常數(shù)以及材料微結(jié)構(gòu)的光學測量儀器。由于測量精度高,適用于超薄膜,與樣品非接觸,對樣品沒有破壞且不需要真空,使得橢偏儀成為一種極具吸引力的測量儀器?,F(xiàn)在已被廣泛應用于材料、物理、化學、生物、醫(yī)藥等領域的研究、開發(fā)和制造過程中。可測材料:半導體、介電材料、有機高分子聚合物、金屬氧化物、多層膜物質(zhì)和石墨烯等等。
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