
四探針測(cè)試儀/四探針系統(tǒng)
是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。專用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成。適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
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