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四方儀器紅外氣體傳感器 Gasboard-2061 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

品牌：四方儀器
型號： Gasboard-2061
產(chǎn)地：湖北武漢
供應(yīng)商報價：面議

四方光電（武漢）儀器有限公司更新時間：2025-05-27 09:00:36

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照已審核

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四方儀器紅外氣體傳感器 Gasboard-2061 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測

 四方儀器紅外氣體傳感器半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測 Gasboard-2060

四方儀器紅外氣體傳感器 Gasboard-2061 半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測核心參數(shù)

檢測原理	NDIR	檢測氣體	SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2
量程	1~264ppm(0~200mTorr)	重復(fù)性	±0.5%
線性	±1%F.S.

產(chǎn)品特點

使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
響應(yīng)時間快，高靈敏度
無耗材
模擬/數(shù)字通信
模塊化設(shè)計，便于集成

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品名稱：紅外氣體傳感器

產(chǎn)品型號：Gasboard-2061

紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述

紅外氣體傳感器是由四方儀器自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR),能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體,兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性

（1）使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

（2）響應(yīng)時間快，高靈敏度

（3）無耗材

（4）模擬/數(shù)字通信

（5）模塊化設(shè)計，便于集成

紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)