馳奔GC系列小型離子濺射儀

【簡(jiǎn)介】

馳奔-E系列掃描電鏡，高真空模式或高分辨模式，要求樣品必須導(dǎo)電良好，否則樣品表面荷電造成圖像缺陷和分辨率惡化。

對(duì)于非導(dǎo)電樣品，表面導(dǎo)電膜層制備，最常使用濺射金屬導(dǎo)電膜層。常用貴金屬如Au、Pt、Au/Pd合金，獲的細(xì)小晶粒的精細(xì)膜層。

馳奔GC系列離子濺射儀，可滿足各種材料的濺射鍍膜、各種掃描電鏡額濺射鍍膜。為客戶提供正確解決方案。

【特點(diǎn)】

● 多種靶材可供可選

● 兩種普通直流和磁控濺射模式可選

● 大型玻璃工作室，濺射過(guò)程中真空穩(wěn)定，濺射電流穩(wěn)定，濺射膜層均勻。

● 可以實(shí)現(xiàn)冷濺射，無(wú)樣品熱損傷。

● 可選擇旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、可傾斜旋轉(zhuǎn)臺(tái)。確保極度粗糙表面，球形顆粒獲得良好鍍膜。

【技術(shù)指標(biāo)】

真空樣品室： 直徑：160mm，高：120mm

樣品臺(tái)及工作距離：高配旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)，簡(jiǎn)配固定樣品臺(tái)，高度手動(dòng)調(diào)節(jié)

濺射面積： Ф50mm，最大放置

真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

離子電流表： 最大電流：50mA/100mA

高壓：-1200V/ -3000V

定時(shí)器： 最長(zhǎng)時(shí)間：1~3600S

真空度手動(dòng)控制：微型真空氣閥，可連接φ3mm軟管

可通入氣體： 多種、

機(jī)械泵： 2L/S （120L/min）