URE-2000/17 型紫外單面光刻機（臺式）

技術(shù)參數(shù)

。曝光面積：4 英寸

。曝光波長：365nm

。分辨力：1.5μm（膠厚 2 ?m 的正膠）

。對準精度：±1μm

。掩模樣片整體運動范圍：X：15mm;Y:15mm

。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸：直徑 Ф 15mm-- Ф 100mm，厚度 0.1mm--6mm(可擴展為 15mm)

。曝光方式：定時和定劑量

。照明不均勻性： 5%（Ф 100mm 范圍）

。雙目雙視場對準顯微鏡：既可通過目鏡目視對準，也可通過 CCD+顯示器對準，光學合像，光學倍數(shù) 400 倍，光學+電子放大 800 倍

                        物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍

                        目鏡三對：10 倍、16 倍、20 倍

。掩模相對于樣片運動行程：

      X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率：200W（直流）

。曝光能量密度：6mW/cm

2．外形尺寸：650mm（長）x600mm(寬) x900mm（高）36

3．配置

（1）曝光頭

。200W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。光學系統(tǒng)

。冷卻風扇

（2）對準工件臺

。掩模樣片整體運動臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu),手動

。樣片調(diào)焦機構(gòu)，手動

。承片臺 3 個（Ф 50mm 、?75mm 、 ?100mm ）

。掩模夾 4 個（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）

。掩模抽拉式上下機構(gòu)

（3）對準顯微鏡

。光源（配備品 2 只）、電源

。雙目雙視場對準顯微鏡主體

。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）

。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）

。CCD（臺灣）

。21 寸液晶顯示器

（4）電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(200W 直流汞燈)

。單片機控制系統(tǒng)

?？刂茩C箱

（5）氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

（6）其他附件

。真空泵一臺

。管道