Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

Nanonex納米壓印系統(tǒng)NX-2500

產(chǎn)品特點：
1、 熱塑化
2、 紫外固化
3、 熱壓與紫外壓印同時進行
4、 熱固化
5、氣墊軟壓技術(ACP)
6、NanonexZG技術
7、 WM的整片基板納米壓印 均勻性
8、高通量
9、低于10nm分辨率
10、亞1微米對準精度
11、快速工藝循環(huán)時間（小于60秒） 靈活性
12、4″, 6″, or 8″壓印面積可選擇各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印
13、方便用戶操作
14、基于超過12年、15代產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗的自動化壓印操作，Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過大量實時實地驗證，質量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定
15、全自動納米壓印

規(guī)格參數(shù)：
1、熱塑壓印模塊
      溫度范圍0～250oC
      加熱速度>300oC/分鐘
      制冷速度>150oC/分鐘
      壓力范圍0 ～ 3.8 MPa（550 psi）
2、紫外固化模塊
      200W窄帶紫外光源
      365納米或395納米波長可選
      全自動化控制
3、對準模塊
     <1μm 3σ對準準確率
     X, Y, Z, Theta平臺
    分場光學和CCD相機
4、模版裝載功能
     4″/5″/6″模版可用于標配納米壓印
5、系統(tǒng)
     8”模板可升級
6、基板裝載
     標配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板
     6″和8″基板可選
     各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基
7、板均可壓印
     獨特ZG保護ACP技術可限
8、度保護基板和模板，特別對于象磷化銦（InP）等極易碎模板和 基板給予限度保護。