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Nanonex光刻機(jī)

品牌：美國NANONEX
型號： Lumina-200
產(chǎn)地：美洲美國
供應(yīng)商報(bào)價(jià)：面議

上海富格貿(mào)易有限公司

銷售范圍售全國

入駐年限第10年

營業(yè)執(zhí)照

同類產(chǎn)品

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聯(lián)系方式：400-822-6768

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詳細(xì)介紹

Lumina-200 多功能高精度光刻機(jī)
Lumina-200高分辨率光刻機(jī)加對準(zhǔn)系統(tǒng)經(jīng)過了大量的實(shí)時實(shí)地驗(yàn)證，質(zhì)量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定。Lumina系列是一款具有高性能，高可靠性，高性價(jià)比，兼具接觸和近程光刻的高分辨率，高對準(zhǔn)精度全功能光刻機(jī)和模板基板對準(zhǔn)機(jī)。Lumina系列在電子，光電子，MEMS，生物芯片等諸多領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。Lumina-200具有的用戶界面，高精度的機(jī)械平臺，高精度光學(xué)，緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)。
主要特點(diǎn)：

高光刻分辨率；高精度對準(zhǔn)機(jī)械平臺；zuixin高精度對準(zhǔn)光學(xué)系統(tǒng)；精確的間距控制

的計(jì)算機(jī)用戶界面；緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)；高性價(jià)比設(shè)計(jì)；可附加背面對準(zhǔn)功能

應(yīng)用：

半導(dǎo)體器件；光電子器件；MEMS；高端封裝；功率器件

生物芯片

基于超過12年、15代產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗(yàn)的自動化操作

Nanonex經(jīng)過大量實(shí)時實(shí)地驗(yàn)證，質(zhì)量可靠，性能優(yōu)越穩(wěn)定
系統(tǒng)參數(shù)：

主平臺

手動控制 X-Y-；馬達(dá)控制 Z；
調(diào)節(jié)范圍：X和Y：1英寸；：10度；Z：0.25英寸

模板加載能力

5”標(biāo)配模板；其他尺寸可提供

基板加載能力