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橢圓偏光膜厚測(cè)量儀(手動(dòng))
- 品牌:日本HalfMoon
- 型號(hào): 1
- 產(chǎn)地:亞洲 日本
- 供應(yīng)商報(bào)價(jià):面議
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上海瞬渺光電技術(shù)有限公司
更新時(shí)間:2022-01-12 15:50:35
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銷售范圍售全國
入駐年限第10年
營業(yè)執(zhí)照
- 同類產(chǎn)品半導(dǎo)體研發(fā)測(cè)試(9件)
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品特點(diǎn):
?400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速測(cè)量橢圓偏光光譜。
?自動(dòng)變更反射測(cè)量角度,可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。
?采用正弦桿自動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,展現(xiàn)測(cè)量角度變更時(shí)優(yōu)異的移動(dòng)精度。
?搭載薄膜分析所需的全角度同時(shí)測(cè)量功能。
?可測(cè)量晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。
產(chǎn)品規(guī)格:
樣品對(duì)應(yīng)尺寸 100×100mm 測(cè)量方式 偏光片元件回轉(zhuǎn)方式 入射/反射角度范圍 45~90o 入射/反射角度驅(qū)動(dòng)方式 反射角度可自動(dòng)變更 波長測(cè)量范圍 300~800nm 分光元件 Poly-chrometer 尺寸 650(H)×400(D)×560(W)mm 重量 約50kg