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    橢圓偏光膜厚測(cè)量儀(手動(dòng))

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    詳細(xì)介紹

    產(chǎn)品特點(diǎn):

    ?400波長以上多通道分光的橢偏儀,高速測(cè)量橢圓偏光光譜。

    ?自動(dòng)變更反射測(cè)量角度,可得到更詳細(xì)的薄膜解析數(shù)據(jù)。

    ?采用正弦桿自動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式,展現(xiàn)測(cè)量角度變更時(shí)優(yōu)異的移動(dòng)精度。

    ?搭載薄膜分析所需的全角度同時(shí)測(cè)量功能。

    ?可測(cè)量晶圓與金屬表面的光學(xué)常數(shù)(n:折射率、k:消光系數(shù))。


    產(chǎn)品規(guī)格:

    樣品對(duì)應(yīng)尺寸100×100mm
    測(cè)量方式偏光片元件回轉(zhuǎn)方式
    入射/反射角度范圍45~90o
    入射/反射角度驅(qū)動(dòng)方式反射角度可自動(dòng)變更
    波長測(cè)量范圍300~800nm
    分光元件Poly-chrometer
    尺寸650(H)×400D×560Wmm
    重量約50kg


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