臺(tái)式場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡

8500場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡通過(guò)微型化靜電聚焦鏡的設(shè)計(jì)，有效避免傳統(tǒng)電磁聚焦鏡在成像過(guò)程中的滯后現(xiàn)象。不同于傳統(tǒng)電鏡在更換電子源后必需的復(fù)雜標(biāo)定過(guò)程，是德科技8500系統(tǒng)通過(guò)現(xiàn)場(chǎng)更換ECD Cartridge,用戶可得到一個(gè)全新的電子源、并配有高精度的電子束發(fā)射腔以及全新的檢測(cè)器，相當(dāng)于再次擁有了一臺(tái)全新的8500FE-SEM。

特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

• 場(chǎng)發(fā)射高分辨掃描電子顯微鏡，結(jié)構(gòu)優(yōu)化，核心元件達(dá)到晶元尺度。在保持高端掃描電子顯微鏡性能的同時(shí)，大大減少對(duì)試驗(yàn)條件和配套設(shè)備的要求，并極大降低了后續(xù)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的使用成本和維護(hù)成本

• 創(chuàng)新的靜電聚焦鏡設(shè)計(jì)，無(wú)需調(diào)校，重復(fù)性好。

• 創(chuàng)造性的ECD cartridge (集電子源、電子束發(fā)射腔，和檢測(cè)器于一體）設(shè)計(jì)，終生無(wú)需標(biāo)定。

• 在低壓條件下，穩(wěn)定得到高分辨的成像結(jié)果，針對(duì)能量敏感型或易電子損傷樣品，能避免高壓電子束對(duì)樣品造成的熔融現(xiàn)象。

• 成像電壓連續(xù)可調(diào)，樣品臺(tái)XYZ三軸自由調(diào)控。

• 在保證高性能的同時(shí)，大大降低試驗(yàn)安裝要求，以及使用成本。不用液氮，電源即插即用。

• 制樣筒單，樣品無(wú)需噴金噴碳，完整保留樣品的真實(shí)形貌特征，適用于各種導(dǎo)電/非導(dǎo)電樣品。